Рассмотрены основные типы энергоанализаторов, применяемых при диагностике поверхности для измерения энергетических и угловых спектров заряженных частиц. Приведены характеристики трех групп спектрометров: с задерживающим потенциалом, с механически перемещаемым и с неподвижным дисперсионным анализатором. Описан ряд конкретных приборов, даны их параметры и указаны особенности применения.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.