Пассивирующие свойства оксидов кремния, нанесенных на поверхность кремниевых высоковольтных p-n переходов методом катодно-реактивного распыления
Волле В.М., Воронков В.Б., Козлов В.А., Штейнбайс Е., Штэнбек К., Экке В.
Выставление онлайн: 20 декабря 1987 г.
Показано, что применение пленок оксидов кремния со встроенным положительным зарядом для пассивации поверхности приборов силовой электроники приводит к уменьшению обратных токов и стабилизации их вольтамперных характеристик. Пленки получены в реакторе магнетронного типа.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.