Вышедшие номера
Электронное зеркало как корректор аберраций объектива электронного микроскопа
Якушев Е.М.1, Алдияров Н.У.1
1Институт ядерной физики Алматы, Казахстан
Email: nahip@inp.kz
Поступила в редакцию: 26 июня 2013 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2014 г.

Описана новая электронно-оптическая система коррекции аберраций объективной линзы с помощью электронного зеркала. Система основана на реализации специального режима фокусировки --- так называемого режима наложенных изображений, при котором в плоскости, проходящей через центр кривизны электронного зеркала, формируются два изображения объекта: одно из них образовано исходящими от объективной линзы лучами --- с аберрациями, второе образовано отраженными от зеркала лучами --- с устраненными аберрациями. Разделение двух наложенных изображений и визуализация очищенного от аберраций изображения осуществляется путем отклонения электронного пучка в осесимметричном магнитном поле, ось симметрии которого проходит через центр кривизны электронного зеркала. Рассчитано распределение магнитного поля, обеспечивающее безаберрационное отклонение электронного пучка.
  1. Hawkes P.W., Kasper E. Principles of Electron Optics. Academic Press. 1989. 559 p
  2. Овсянникова Л.П., Фишкова Т.Я. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 5. С. 96--102
  3. Preikszas D., Rose H. // J. Elect. Microsc. 1997. Vol. 46. N 1. P. (1--9)
  4. Rempfer G.F. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. N 10. P. 6027--6041
  5. Rose H., Wan W. Proc. IEEE. Particle Accel. Conf. Knoxville, Tennessee, 2005. P 44--48
  6. Wan W., Feng J., Padmore H.A., Robin D.C. Nucl. Instrum. Meth. A. 2004. Vol. 519. N 1--2. P. 222--229
  7. Zhukov V.A., Zav'yalova A.V. // Russian Microelectronics. 2006. Vol. 35. P. 372--381
  8. Якушев Е.М., Бимурзаев С.Б. Патент Р.К. N 75 950, 2011
  9. Yakushev E.M. // Adv. Imag. Elect. Phys. 2013. Vol. 178. P. 147--247
  10. Кельман В.М., Явор С.Я. Электронная оптика. М.-Л.: АН СССР. 1963. 2-е изд. 367 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.