Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра
Лядов Н.М., Гумаров А.И., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Базаров В.В., Файзрахманов И.А.1,2
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань, Россия
Email: nik061287@mail.ru
Поступила в редакцию: 4 июня 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.
Методом оптической фотометрии в видимой области спектра проведены исследования образцов Al2O3 и ZnO, облученных ионами серебра с энергией 30 keV в широком интервале доз (0.25-1)·1017 ion/cm2. Установлено, что на спектрах оптического пропускания облученных образцов появляется селективная полоса поверхностного плазмонного резонансного поглощения наночастиц серебра, интенсивность которой немонотонно зависит от дозы облучения. Проведены теоретические расчеты распределения ионов серебра по глубине в исследованных образцах. Показано, что наблюдаемая в эксперименте немонотонность обусловлена увеличением коэффициента распыления подложки с ростом дозы облучения. Установлено, что термический отжиг в вакууме имплантированных слоев Al2O3 до температур ~700oС ведет к заметному уменьшению ширины полосы плазмонного поглощения без существенного изменения ее интенсивности. При более высоких температурах отжига происходят ее уширение и уменьшение интенсивности. Обнаружено, что отжиг в аналогичных условиях облученных пленок ZnO приводит к их полному испарению.
- Maier S.A. Plasmonics: Fundamentals and Applications. Springer Science. 2007. 223 p
- Климов В.В. УФН. 2008. Т. 178. Вып. 8. С. 875-880
- Stepanov A.L., Khaibullin I.B. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2005. N 9. P. 109-129
- Гарбуни M. Физика оптических явлений. М.: Энергия. 1967. 496 с
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация. М.: Наука. 1983. 360 с
- Головин B.A., Ульянова Э.Х. Свойства благородных металлов и сплавов. М.: Металлургия. 1964. 188 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.