На основе известного спектрально-зондового метода определения селективных коэффициентов распыления в плазме атомных газов предложена методика определения абсолютных коэффициентов распыления компонентов сплавов в водородной плазме полого катода при энергиях распыляющих частиц порядка нескольких сот эВ. Рассчитаны функции распределения частиц, бомбардирующих поверхность полого катода. Показано, что основной вклад в распыление при типичных условиях разряда в полом катоде (давление газа несколько Тор, плотность тока порядка 10 мА/см²) вносят ионы H⁺₃.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.