Вышедшие номера
Хроматическая аберрация зондоформирующих систем микрозондовых ионно-лучевых установок (ИЛУ)
Виноградов М.И.
Выставление онлайн: 19 сентября 1991 г.

Рассмотрена хроматическая аберрация в одно- и двухлинзовых зондоформирующих системах ионно-лучевых установок. Приведены простые выражения для их оптимизации при размерах ионного зонда менее 0.2-0.3 мкм.