Рассмотрены режимы роста, в которых скорость доставки реагирующих компонент газовым потоком к подложке сравнима со скоростью их встраивания в подложку. Для описания процессов массопереноса в объеме использована система газодинамических уравнении. Для учета взаимодействия подложки с газовой фазой предложены адиабатические граничные условия. Адекватность данного подхода показана на примере хлоридной системы выращивания арсенида галлия. Рассмотренный подход содержит в качестве предельных случаев приближения диффузионного и кинетического режимов роста.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.