Влияние условий формирования тонкопленочной системы диэлектрическая подложка--платина--титанат--цирконат свинца на структуру, состав и свойства пленок цирконата--титаната свинца
Афанасьев В.П.1, Богачев С.В.1, Зайцева Н.В.1, Каптелов Е.Ю.1, Крамар Г.П.1, Петров А.А.1, Пронин И.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 11 января 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.
Методами рентгенографического и электронографического анализа изучена кристаллическая структура пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС) и нижнего платинового электрода, методом электронной оже-спектроскопии получены профили распределения элементов по глубине в системе ЦТС-Pt-диэлектрическая подложка, с помощью растрового туннельного профилометра исследована морфология поверхности пленок Pt и ЦТС. Показано, что температурные режимы осаждения и последующей термообработки Pt определяют степень шероховатости платинового подслоя, что сказывается на условии формирования перовскитовой фазы пленок ЦТС, а также изменяет вероятность закороток и пробоя тонкопленочных конденсаторов. Установлено, что при повышенных температурах подложки в процессе осаждения пленок ЦТС имеет место не только нарушение стехиометрического состава, но и неоднородное распределение свинца и кислорода по толщине. Вследствие взаимодиффузии наблюдается размытие границ раздела материалов, причем толщина переходных областей превышает 50 нм.
- Scott J.F., Paz de Araujo. Science. 1989. Vol. 246. P. 1401--1405
- Budd K.D., Dey S.K., Payne A. Proc. Brit. Ceram. Soc. 1985. Vol. 36. P. 107--121
- Toyama M., Inoue N., Hamakawa Y. Integr. Ferroelectrics. 1993. Vol. 2. P. 147--155
- Krupanidhi S.B. Integr. Ferroelectrics. 1992. Vol. 1. P. 161--180
- Afanasjev V.P., Kramar G.P. Ferroelectrics. Vol. 143. P. 299--304
- Афанасьев В.П., Каптелов Е.Ю., Крамар Г.П. и др. ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 6. C. 1657--1665
- Spierings G.A.C.M., Van Zon J.B.A., Larsen P.K. et al. Integr. Ferroelectrics. 1993. Vol. 3. P. 283--292
- Hren P.D., Roy S.H., Al-Shareef H.N. et al. Integr. Ferroelectrics. 1992. Vol. 2. P. 311--325
- Hirata K., Hosokawa N., Hase T. et al. Jap. J. Appl. Phys. 1992. Vol. 31. N 9B. P. 3021--3024
- Yoon D.S., Kim J.M., Ahn K.C. et al. Integr. Ferroelectrics. 1994. Vol. 4. P. 93--101
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
