Методами рентгенографического и электронографического анализа изучена кристаллическая структура пленок цирконата-титаната свинца (ЦТС) и нижнего платинового электрода, методом электронной оже-спектроскопии получены профили распределения элементов по глубине в системе ЦТС-Pt-диэлектрическая подложка, с помощью растрового туннельного профилометра исследована морфология поверхности пленок Pt и ЦТС. Показано, что температурные режимы осаждения и последующей термообработки Pt определяют степень шероховатости платинового подслоя, что сказывается на условии формирования перовскитовой фазы пленок ЦТС, а также изменяет вероятность закороток и пробоя тонкопленочных конденсаторов. Установлено, что при повышенных температурах подложки в процессе осаждения пленок ЦТС имеет место не только нарушение стехиометрического состава, но и неоднородное распределение свинца и кислорода по толщине. Вследствие взаимодиффузии наблюдается размытие границ раздела материалов, причем толщина переходных областей превышает 50 нм.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.