Влияние объемной связи на величины пороговых энергий каскадов распыления твердых тел
Сошников И.П.1, Берт Н.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 января 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.
Проведен анализ модели Ямамуры-Богдански для определения энергий эффективного порога распыления твердых тел, который показал присутствие систематической ошибки в теории. Поэтому было сделано предположение, что расхождение теории и эксперимента объясняется неупругими энергопотерями, вызванными разрывом объемных связей атома. В результате анализа расширенной модели получена параметрическая формула для определения пороговых энергий различных каскадов распыления. Сравнение зависимостей пороговой энергии каскадов распыления, рассчитанных с помощью дополненной модели, показывает хорошее согласие теории и эксперимента. Предложен алгоритм определения каскадных параметров, который основан на анализе приближений легких и тяжелых ионов.
- Falcone G. Rev. Nuovo Cimento. 1990. Vol. 13. N 1. P. 1--52
- Yamamura Y. Rad. Eff. 1984. Vol. 80. P. 52--72
- Yamamura Y., Bohdansky J. Vacuum. 1985. Vol. 35. N 12. P. 561--571
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Т. 1. Механика. М.: Наука, 1988
- Андерсен Х.Х., Бай Х. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. (Andersen H.H., Bay H.L. Sputtering by Perticle Bombardment 1 Physical Sputtering of Single-Element Solids / Ed. R. Behrisch. Springer, 1981. Topics in Appl. Phys. Vol. 47.)
- Natsunami N. et al. / Atom. Data and Nucl. Data Tabl. 1984. Vol. 31. P. 1--80
- Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике. М.: Наука, 1980. С. 386
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.