Вышедшие номера
Расчет энергетического спектра ионов тяжелой компоненты и коэффициента распыления катода в тлеющем разряде в смеси газов
Кристя В.И.1
1Научно-исследовательский институт материалов электронной техники, Калуга, Россия
Поступила в редакцию: 4 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.

Найденно приближенное аналитическое решение кинетического уравнения для функции распределения по энергиям ионов тяжелой компоненты в катодном слое разряда смеси инертных газов. Показано, что рассчитанный на основе полученного решения коэффициент распыления катода удовлетворительно согласуется с результатами численного моделирования, а зависимость долговечности катода от плотности разрядного тока - с экспериментальными данными.