Вышедшие номера
Исследование процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов в газах
Вольпяс В.А.1, Гольман Е.К.1, Цукерман М.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.
Рассматриваются процессы переноса распыленных атомов в пространстве дрейфа мишень--подложка при ионно-плазменном распылении. Предлагается одномерная модель процесса переноса, в которой на основе теории нелинейной диффузии посредством введения параметра рассеяния определяются основные характеристики прямого и диффузионного потоков. Изучены закономерности релаксации энергии и диффузионного движения распыленных атомов. Определены положения виртуальных источников термализованных распыленных атомов в пространстве дрейфа и соотношение прямого и диффузионного потоков в зависимости от условий разряда и сорта сталкивающихся частиц. Проведена корреляция результатов моделирования и экспериментального исследования при нанесении тонких пленок ВТСП. Результаты расчетов качественно согласуются с экспериментом.
  1. Suzuki M., Enomoto Y., Murakami T., Jnamura T. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 53. P. 1622--1629
  2. Suzuki M., Murakami T. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 56. P. 2330--2339
  3. Gras-Marti A., Valles-Abarca J.A. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. N 2. P. 1071--1078
  4. Valles-Abarca J.A., Gras-Marti A. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55. N 5. P. 1370--1379
  5. Westwood W.D. J. Vac. Sci. Technol. 1978. Vol. 15. N 1. P. 1--9
  6. Robinson R.S. J. Vac. Sci. Technol. 1979. Vol. 16. N 2. P. 185--188
  7. Sputtering by Particle Bombardment. / Ed. R. Behrisch. Berlin, Heidelberg, New York: Springer-Verlag, 1981. P. 336
  8. Keller J.H., Simmons R.G. IBM. J. Res. Develop. 1979. Vol. 23. N 1. P. 24--37
  9. Persson K.B. Phys. Fluids. 1962. Vol. 5. N 12. P. 1625--1632
  10. Vendik O.G., Volpyas V.A., Hollman Ye.K. et. al. Vysokotemperaturnaya Sverhprovodimost. 1989. N 2. P. 6--28

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.