Вышедшие номера
Об особенностях химической перестройки межфазных границ металл--GaAs в присутствии второго компонента металлизации
Миленин В.В.1, Ляпин В.Г.1, Наумовец А.А.1
1Институт физики полупроводников АН Украины,, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1995 г.

Исследованы механизмы формирования и свойства межфазных границ в барьерных системах Шоттки с двухкомпонентной металлизацией. Объектами исследования служили гетероструктуры Au-Cr-GaAs и Cr-Pt-GaAs, отличающиеся компоненты металлизации которых (Au и Pt) обладают различной химической активностью по отношению к компонентам полупроводниковой подложки. Химический состав переходных слоев и распределение элементов вдоль нормали к поверхности образца определялись методами рентгеновской фотоэлектронной и оже-электронной спектроскопии в сочетании с послойным ионным травлением. Полученные данные свидетельствуют о существенной роли второй металлической фазы в химических реакциях, протекающих на границах раздела исследованных гетероструктур.