Распределение по энергиям электронов и ионов, бомбардирующих электрод в высокочастотном разряде
Смирнов А.С.1, Уставщиков А.Ю.1, Фролов К.С.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1995 г.
Проведены эксперименты по исследованию потоков электронов и ионов, бомбардирующих электроды в высокочастотном емкостном разряде в аргоне при давлениях p=15-30 мТор. Показано, что поток быстрых электронов, образующихся за счет вторичной эмиссии, сравним с потоком ионов на электрод. Энергия быстрых электронов в несимметричном разряде около большого электрода значительно превышает ионную (varepsiloni~= 30 эВ) и достигает 1000 эВ. Измерены значения ион-электронной эмиссии gamma и эффективной ион-электронной эмиссии gammaeff, включающей процессы эмиссии за счет взаимодействия фотонов и возбужденных атомов с поверхностью. Полученные значения gammaeff=0.15-0.55 во всех случаях значительно превышают gamma =< 0.03. Измерены коэффициенты вторичной электронной эмиссии sigma для быстрых электронов в условиях разряда и их зависимость от энергии электронов. Показано, что значения sigma могут превышать единицу.
- Bohm C., Perrin J. Rev. Sci. Instr. 1993. Vol. 64. N 1. P. 31--44
- Kohler K., Coburn J.W., Korn D.E. et al. J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57. P. 59--66
- Tompson B.E., Allen K.D., Richards A.D., Savin H.M. J. Appl. Phys. 1986. Vol. 56. N 6. P. 1463
- Koenig H.R., Maissel L.I. IBM J. Res. Develop. 1970. Vol. 14. P. 168
- Smirnov A.S., Tsendin L.D. IEEE Trans. on Plasma Sci. 1991. Vol. 19. N 2. P. 130--140
- Чен Ф.Ф. Диагностика плазмы / Под ред. Р.Хадлстоуна, С.Леонарда. М.: Мир, 1967
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С.Григорьва, Е.З.Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Huxley L.G.H., Crompton R.W. The diffusion and drift of electrons in gases. New York: Wiley, 1974
- Kaganovich I.D., Tsendin L.D. IEEE Trans. on Plasma Sci. 1992. Vol. 20. N 2. P. 66--75
- Дулькин А.Е., Мошкалев С.А., Смирнов А.С., Фролов К.С. ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 7. С. 64--73
- Lieberman M.A. IEEE Trans. on Plasma Sci. 1988. Vol. 16. N 6. P. 638--643
- Lieberman M.A. IEEE Trans. on Plasma Sci. 1989. Vol. 17. N 2. P. 338--341
- Raizer Yu.P., Shneider M.N. Plasma Sources Sci. Technol. 1992. Vol. 1. P. 102--108
- Gill E.W.B., von Engel A. Proc. Roy. Soc. 1948. Vol. A192. P. 446--449
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук