Выявление и анализ дефектов в монокристаллах и эпитаксиальных слоях на основе CdTe методами рентгеновской топографии
Шульпина И.Л.1, Аргунова Т.С.1, Ратников В.В.1
1Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1995 г.
Проанализированы изображения структурных дефектов в монокристаллах и эпитаксиальных слоях на основе CdTe, а также условия выявления дефектов методами рентгеновской дифракционной топографии. Экспериментально найденные оптимальные условия выявления дефектов обсуждаются на основе известных выводов динамической теории дифракции рентгеновских лучей. Показано, что в условиях большого поглощения рентгеновских лучей, реализуемых для CdTe в Cu Kalpha-излучении, контраст дефектов является преимущественно ориентационным. Расшифрованы специфические изображения включений, выдавливающих дислокационные петли.
- Мильвидский М.Г., Освенский В.Б. Структурные дефекты в кристаллах полупроводников. М.: Металлургия, 1984. 256 с
- Ланг А.Р. Дифракционные и микроскопические методы в материаловедении. М.: Металлургия, 1984. С. 364--446
- Шульпина И.Л. Кристаллография. 1994. В печати
- Инденбаум Г.В., Бароненкова Р.П., Бойных Н.М. ФХОМ. 1971. Т. 2. С. 91--96
- Jnoue M., Teramoto J., Takayanagi S. Appl. Phys. 1962. Vol. 33. N 18. P. 246--250
- Щербак Л.П., Фодчук И.М., Тихонова О.М. Кристаллография. 1991. Т. 36. N 6. С. 1521--1526
- Крапухин В.В., Перепелкин И.В., Кульчицкая Т.В. и др. Кристаллография. 1991. Т. 36. N 4. С. 1032--1035
- Jayatirtha H.N., Henderson D.O., Burger A., Volz M.P. Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 62. N 6. P. 573--575
- Ratnikov V.V., Argunova T.S., Mironov K.E., Sorokin L.M. Sol. St. Phenomena. 1991. Vol. 19. L20. P. 461--466
- Trukhanov E., Vasilev I., Botev P. et al. Cryst. Res. Techn. 1989. Vol. 24. N 12. P. 1253--1258
- Пинскер З.Г. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах. М.: Наука, 1974. 368 с
- Никольский И.А., Петрашень П.В., Чернов М.А. ФТТ. 1986. Т. 28. Вып. 9. С. 2870--2872
- Аргунова Т.С., Кусов А.А., Петрашень П.В., Шульпина И.Л. ЖТФ. 1987. Т. 57. Вып. 6. С. 1114--1120
- Кютт Р.Н., Шольц Р., Рувимов С.С. и др. ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 3. С. 724--735
- Wada M., Suzuki J. Jap. J. Appl. Phys. 1988. Vol. 27. N 6. L972
- Patel A.R., Singh R.P. Japan. J. Appl. Phys. 1968. Vol. 7. N 10. P. 1167--1170
- Braun C., Helberg H.W., George A. Phil. Mag. A. 1986. Vol. 53. N 2. P. 277--284
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук