Вышедшие номера
Функция распределения обратно рассеянных легких ионов в аморфном твердом теле при нормальном падении. Случай низких энергий
Сухомлинов В.С.1, Фафурина Э.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1995 г.

Работа посвящена разработке аналитической теории, позволяющей рассчитывать функцию распределения потока обратно рассеянных легких ионов малых энергий (до нескольких кэВ) в аморфном твердом теле при нормальном падении. Создана модель процесса обратного рассеяния. Решено стационарное кинетическое уравнение Больцмана и получено простое аналитическое выражение для функции распределения. Получено хорошее соответствие как для функций распределения, рассчитанных нами и измеренных другими авторами, так и для вычисленных с помощью этой функции коэффициентов отражения частиц и энергии. Результаты данной работы могут быть использованы для разработки новых методов диагностики поверхности, методов расчета коэффициентов распыления при низких энергиях.