Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1995, выпуск 4 » Статья стр. 9
<<<>>>
Функция распределения обратно рассеянных легких ионов в аморфном твердом теле при нормальном падении. Случай низких энергий
Сухомлинов В.С.1, Фафурина Э.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1995 г.
PDF версия
Работа посвящена разработке аналитической теории, позволяющей рассчитывать функцию распределения потока обратно рассеянных легких ионов малых энергий (до нескольких кэВ) в аморфном твердом теле при нормальном падении. Создана модель процесса обратного рассеяния. Решено стационарное кинетическое уравнение Больцмана и получено простое аналитическое выражение для функции распределения. Получено хорошее соответствие как для функций распределения, рассчитанных нами и измеренных другими авторами, так и для вычисленных с помощью этой функции коэффициентов отражения частиц и энергии. Результаты данной работы могут быть использованы для разработки новых методов диагностики поверхности, методов расчета коэффициентов распыления при низких энергиях.
  1. Behrish R., Eckstein W. Physic of Plasma-Wall Interactions in Controlled Fusion / Ed. D.E.Post, R.Behrish. New York; London: Plenum Press, 1986. P. 413
  2. Hou M. Vacuum. 1989. Vol. 39. P. 309--314
  3. Курнаев В.А., Машкова Е.С., Молчанов В.А. Отражение легких ионов от поверхности твердого тела. М.: Энергоиздат, 1985
  4. Luo Zhengming, Bai Rongshend, Wang Shiming Nucl. Instr. Meth. B. 1990. Vol. 48. P. 435--438
  5. Yueyuen Xia, Xiangang Xu, Chunyu Tan et al. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. P. 439--446
  6. Biersack J.P. Nucl. Instr. Meth. B. 1987. Vol. 27. P. 21--36
  7. Оцуки Е.-Х. Взаимодействие заряженных частиц с твердыми телами. М.: Мир, 1985.
  8. Andersen H.H., Ziegler J.F. Hydrogen Stopping Powers and Ranges in All Elements / Ed. J.F.Ziegler. New York: Pergamon Press, 1977
  9. Плетнев В.В. Докт. дис. М., 1989. 384 с
  10. Luo Zhengming Nucl. Instr. Meth. B. 1990. Vol. 48. P. 444--447
  11. Владимиров В.С. Математические задачи односкоростной теории переноса частиц. Тр. Матем. ин-та им. В.А.Стеклова АН СССР. N 59 М., 1961
  12. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров С.А. Основы физики плазмы М.: Атомиздат, 1977
  13. Фирсов О.Б. ЖЭТФ. 1959. Т. 36. С. 1517--1522
  14. Плетнев В.В. Поверхность. Физ., хим., мех. 1987. N 3. С. 67--72
  15. Таблицы физических величин. Справочник / Под ред. И.А.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 1006 с
  16. Ziegler J.F. Heliun Stopping Powers and Ranges in All Elements. New York: Pergamon Press, 1977
  17. Oen O.S., Robinson M.T. Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. 132. P. 647--653
  18. Eckstein W., Verbeek H. J. Nucl. Mater. 1978. Vol. 76--77. P. 365--369
  19. Robinson J.E., Kwock K.K., Thompson D.A. Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. 132. P. 667--671
  20. Chen C.K., Bohdansky J., Eckstein W., Robinson M.T. J. Nucl. Mater. 1984. Vol. 128--129. P. 687--690
  21. Lindhard J., Nielsen V., Scharff M. Kgl. Dan. Vid. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1968. Bd. 36. N 10
  22. McCracken G.M., Freeman N.J. J. Phys. B. 1969. Ser. 2. Vol. 2. P. 661--668
  23. Vucanic J., Sigmund P. Appl. Phys. 1976. Vol. 11. P. 265--272
  24. Weismann R., Sigmund P. Rad. Eff. 1973. Vol. 19. P. 7--14
  25. Bottiger J., Winterbon K.B. Rad. Eff. 1973. Vol. 20. P. 65--67
  26. Eckstein W., Laszlo J. J. Nucl. Mater. 1991. Vol. 183. P. 19--24
  27. Bandurko N.V., Koborov N.N., Kurnaev V.A. et al. J. Nucl. Mater. 1990. Vol. 176--177. P. 630--634
  28. Eckstein W., Verbeek H. J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51. P. 1194--1200
  29. Aratari R., Eckstein W. Nucl. Instr. Meth. B. 1989. Vol. 42. P. 11--19
  30. Verbeek H., Eckstein W., Bhattacharya R.S. J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51. P. 1783--1789
  31. Overbury S.H., Dittner P.E., Datz S., Thoe R.S. J. Nucl. Mater. 1980. Vol. 93--94. P. 529--535

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme