Анализ механизмов, определяющих << отклик>> датчиков газов на поверхностных акустических волнах (ПАВ)
Анисимкин В.И.1, Котелянский И.М.1, Верона Э.1
1Институт радиотехники и электроники РАН,, Москва, Россия Институт акустики, Рим, Италия
Поступила в редакцию: 17 января 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.
Предложен метод оценки парциальных вкладов от массовой и упругой нагрузки в результирующий газовый ''отклик'' датчиков на ПАВ. На примере ПАВ датчиков водорода с пленками палладия продемонстрирована возможность управления этими вкладами путем выбора материала подложки. Проведено численное моделирование изменений фазовой скорости ПАВ в слоистой структуре при поочередном изменении отдельных упругих параметров газочувствительной пленки. Для аналитической оценки вкладов от массовой и упругой нагрузки пленки применен метод возмущений. Этот метод позволил рассчитать результирующий ''отклик'' ПАВ датчика в терминах характеристик распространения ПАВ, упругих свойств пленки и относительных изменений плотности и упругих модулей пленки, которые возникают при адсорбции детектируемого газа. Обсуждаются возможности управления чувствительностью и/или селективностью датчиков газов на ПАВ.
- Wohltjen H. Proc. 4^ th Intern. Conf. Solid-State Sensors and Actuators\commes (Transducers'87). Tokyo, 1987. P. 471--477
- Ricco A.J., Martin S.J. Thin Solid Films. 1991. N 206. P. 94--101
- Christofides C. J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 6. P. RI--R30
- Wohltjen H. Sensors and Actuators. 1984. N 5. P. 307--324
- Mingfang L., Haiguo L. Sensors and Actuators. 1993. N 12. P. 53--56
- Анисимкин В.И., Котелянский И.М. ЖТФ. 1992. Т. 62. Вып. 2. С. 200--202
- Farnell G., Adler E.L. Physical Acoustics. New York; London: Academic Press, 1972. P. 308
- Auld B.A. Acoustic Fields and Waves in Solids. New York; London; Sydney; Toronto: Wiley Interscience Publication, 1973. Vol. 2. 416 p
- Slobodnik A.J., Jr., Conway E.D., Delmonico R.T. Microwave Acoustic Handbook. Air Force Cambridge Research Laboratorie Report AFCRL-TR-73-0597. Cambridge, MA, 1973. Vol. IA. 728 p
- Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верарди П., Верона Э. ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 2. С. 428--435
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
