Диаграмма направленности эффузионной ячейки с соплом различной конфигурации
Озолова Е.В.1, Игнатьев И.В.1, Абрамов А.П.1
1Научно-исследовательский институт физики Санкт-Петербургского университета, Оптический институт,, Санкт-Петербург
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.
В приближении свободного молекулярного течения газа выполнен расчет диаграммы направленности молекулярного потока, формируемого эффузионной ячейкой с соплом цилиндрической и конической форм. Исследована зависимость диаграммы направленности от отношения высоты сопла к радиусу основания и от угла раствора сопла. Теоретически исследована эффективность эффузионной ячейки с соплом различной конфигурации в установках молекулярной лучевой эпитаксии. Проанализирована однородность распределения молекулярного потока в пределах подложки. Показано, что максимальная однородность распределения потока и эффективность работы достигается для эффузионной ячейки с коническим соплом, согласованным по апертуре с угловыми размерами подложки.
- Knudsen M. Ann. der Phys. 1909. Vol. 28. P. 999
- Herman Marian A. Vacuum. 1982. Vol. 32. N 9. P. 555--565
- Giordmaine J.A., Wangt T.C. J. Appl. Phys. 1960. Vol. 31. N 3. P. 463--471
- Неудачин И.Г., Породнов Б.Т., Суетин П.Е. ЖТФ. 1972. Т. 42. Вып. 5. С. 1069--1072.
- Chen L.Y.L. J. Vac. Sci. Technol. 1978. Vol. 15. P. 10--12
- Наумов А.И. ЖТФ. 1963. Т. 33. Вып. 1. С. 127--131
- Wasilewski Z.R., Aers G.C. J. Vac. Sci. Technol. 1991. B. Vol. 9. N 1. P. 120
- Wasilewski Z.R., Aers G.C. J. Vac. Sci. Technol. 1992. B. Vol. 10. N 2. P. 815--818
- Spring Thorpe A.J., Majeed A., Miner C.J. J. Vac. Sci. Technol. 1991. A. Vol. 9. N 6. P. 3175--3177
- Wasilewski Z.R., Aers G.C. J. Crystal Growth. 1991. Vol. 11. P. 70--74
- Технология тонких пленок / Под ред. Л. Майссела. М.: Сов. радио, 1977. Т. 1. С. 24
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук