Фотолюминесценция слоев Si 3N 4 на поверхности кремния при лазерном возбуждении
Барабан А.П.1, Булавинов В.В.1, Степанов Ю.А.1
1С.-Петербургский университет
Поступила в редакцию: 24 сентября 1992 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1993 г.
- Нитрид кремния в микроэлектронике / Под. ред. А.В.Ржанова. Новосибирск: Наука, 1982. 200 c
- Васильев В.В., Михайловский И.П., Свиташев К.К. ЖТФ. 1988. Т. 58. Вып. 4. С. 836--839
- Пундур П.А., Шавалгин Ю.Г. ЖПС. 1989. Т. 51. N 5. C. 843--844
- Pundur P.A., Shavalgin J.G., Gritsenko V.A. Phys. Stat. Sol. (a). 1986. Vol. 94. N 2. P. 107--112
- Барабан А.П., Климов И.В., Коноров П.П. ФТТ. 1987. Т. 29. Вып. 11. C. 3459--3462
- Фок М.В. Тр. ФИАН. 1972. Т. 59. C. 3--24
- Булавинов В.В., Тарантов Ю.А., Барабан А.П. Письма в ЖТФ. 1981. Т. 7. Вып. 4. C. 235--238
- Thomas D.G., Hopfield J.J., Augustinjak W.M. Phys. Rev. 1965. Vol. 140. N 1A. P. 202--220
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук