Математическая модель мультискана II. Анализ погрешности
Подласкин Б.Г., Романова Е.П., Токранова Н.А., Юферев В.С.
Выставление онлайн: 20 декабря 1992 г.
Используя формулы, полученные в первой части настоящей работы, выполнен анализ погрешности определения координаты центра светового пятна. Выделены монотонная и периодическая составляющие погрешности. Показано, что последняя в свою очередь состоит из трех частей, связанных с дискретностью шага p-n-переходов, влиянием темновых токов, а также с конечным размером p+-областей фотодиодов. Для всех указанных видов погрешности получены аналитические выражения и исследована зависимость погрешности от геометрических и электрофизических характеристик прибора. Показано, что погрешность в определении центра пятна не превышает нескольких процентов от шага прибора.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.