Измерение микроколичеств титана на развитой поверхности кремния с помощью ячеек на основе перфторированных протонпроводящих мембран
Никитин С.Е., Теруков Е.И., Коньков О.И., Бобыль А.В., Тимофеев С.В.1
1ОАО "Пластполимер", Санкт-Петербург, Россия
Email: nikitin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 августа 2012 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2013 г.
Исследована методика измерения микроколичеств титана, находящегося на развитой поверхности кремния. Методика основана на растворении тонких слоев Ti в водных растворах фтористоводородной кислоты с последующим анализом полученных растворов с помощью потенциометрических ячеек на основе перфторированных протонпроводящих мембран. Показана возможность количественного определения не менее 5·10-7 mol титана на поверхности кремния.
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986, 176 c
- Ritterskamp P., Kuklya A., Wutskamp M.-A., Kerpen K., Weidenthaler C., Demuth M. // J. Angew. Chem. Int. Ed. 2007. Vol. 4641. P. 7770--7774
- Иванчeв C.С., Мякин С.В. // Успехи химии. 2010 T. 79. N 2. C. 117--134
- Bessarabov D., Sanderson R. // J. Membrane Sci. 2004. Vol. 244. N 1--2. P. 69--76
- Никитин С.Е., Теруков Е.И.,Тимофеев С.В., Манабаев Н.К. // ЖТФ. 2012. T. 82. Вып. 6. С. 132-134
- Berezina N.P., Gnusin N.P, Dyomina O.A., Timofeev S.V. // J. Membrane Sci. 1994. Vol. 86. Р. 207--229
- Демина О.А., Березина Н.П., Анникова Л.А., Демин А.В., Тимофеев С.В. // Сер. Критические технологии. Мембраны. 2007. N 3 (35). С. 11--17
- Крешков А.П. // Основы аналитической химии. M.: Химия, 1970. С. 46-47
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук