Вышедшие номера
Усовершенствование электронного тороидального спектрометра для растрового электронного микроскопа и его новые применения в диагностике структур микро- и наноэлектроники
Гостев А.В., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Трубицын А.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: rau@phys.msu.ru
Поступила в редакцию: 10 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.

Описана новая версия электростатического тороидального спектрометра электронов, инсталлированного в сканирующий электронный микроскоп. Прибор позволил провести научно-исследовательские и прикладные работы в области высоколокальной неразрушающей диагностики материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники. Приведены примеры по топологическому контролю трехмерных микроструктур методом томографии в обратнорассеянных электронах. Показана высокая эффективность приема энергетической фильтрации вторичных электронов при мониторинге локально легированных участков примесями p- и n-типа в полупроводниковых кристаллах. Дано физическое обоснование высокого контраста изображений легированных областей. Продемонстрирована возможность измерения в сканирующем электронном микроскопе спектров электронов во всем энергетическом диапазоне от медленных вторичных до упругоотраженных.