Особенности структурных и оптических свойств пористого кремния, полученного в p+-эпитаксиальном слое на n-Si(111)
Леньшин А.С., Кашкаров В.М., Минаков Д.А., Агапов Б.Л., Домашевская Э.П., Ратников В.В., Сорокин Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.
Методами растровой электронной микроскопии и многокристальной рентгеновской дифракции исследованы особенности структурных и оптических свойств пористого кремния, полученного анодным травлением пластины n-Si(111) с p+-гомоэпитаксиальным слоем на одной из сторон. Найдено существенное отличие микроструктуры с обеих сторон образца. При старении в течение 4.5 месяцев наблюдался дрейф дифракционого пика por-Si от пика подложки на deltatheta=-42'' и -450'' для n-Si и p+-Si пористых слоев соответственно. Полоса фотолюминесценции, полученная от p+-слоя образца, в 2 раза уже полосы ФЛ от n-слоя при практически одинаковой интенсивности и сдвинута в сторону меньших длин волн (больших энергий) на 0.4 eV.
- Cullis A.G., Canham L.T. // Nature. 1991. Vol. 353. P. 335-338
- Леньшин А.С., Кашкаров В.М., Турищев С.Ю., Смирнов М.С., Домашевская Э.П. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 17. С. 1-8
- Chan S., Thesis Ph.D. University of Rochester. NY, 2000. P. 193
- Bisi O., Ossicini S., Pavesi L. // Surface Science Reports. 2000. Vol. 38. P. 126
- Ратников В.В., Сорокин Л.М., Соколов В.И., Калмыков А.Е. // ФТТ. 2009. Т. 51. N 12. С. 2289-2295
- Астрова Е.В., Ратников В.В., Ременюк А.Д., Ткаченко А.Г., Шульпина И.Л. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. Вып. 2. С. 1-8
- Turishchev S.Yu., Lenshin A.S., Domashevskaya E.P. et al. // Phys. Stat. Sol. C. 2009. Vol. 6. N 7. P. 1651-1655
- Ledoux G., Guillois O., Porterat D., Reynaud C. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 62. N 23. P. 15 942-15 951
- Ledoux G., Gong J., Huisken F., Guillois O., Reynaud C. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 80. P. 4834-4836
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.