Вышедшие номера
Оптические свойства пористого кремния, обработанного в тетраэтилортосиликате
Леньшин A.C.1, Кашкаров B.M.1, Ципенюк B.H.1, Середин П.В.1, Агапов Б.Л.1, Минаков Д.А.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: lenshinas@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 25 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Исследовано изменение состава и оптических свойств пористого кремния (por-Si), полученного электрохимическим травлением пластины монокристаллического кремния n-типа (111), под воздействием высокотемпературного отжига и обработки в тетраэтилортосиликате (ТЭОС). Показано, что и обработка в ТЭОС, и отжиг препятствуют загрязнению образцов при длительном хранении на атмосфере. При этом обработка пористого кремния в ТЭОС оставляет неизменным положение пика фотолюминесценции (ФЛ) и меньше гасит ФЛ по сравнению с результатами отжига por-Si. Это обстоятельство повышает надежность оптоэлектронных устройств на пористом кремнии.