Особенности сенсорного отклика термокаталитического сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния
Таратын И.А.1, Хатько В.В.1
1Белорусский национальный технический университет, Минск, Белоруссия
Email: viacheslav.khatko@gmail.com
Поступила в редакцию: 26 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.
Проведено исследование особенностей сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния p-типа проводимости к ряду газов, таких как H2, CO, CH4 и C3H8. Для пропана, монооксида углерода и водорода можно выделить как положительную, так и отрицательную составляющие сенсорного отклика. Для положительных значений отклика сенсора на монооксид углерода и пропан наблюдаются ярко выраженные максимумы при значениях тока кремниевого нагревателя 21 и 23 mA соответственно. Для водорода наблюдается зависимость положения максимума отклика сенсора от концентрации газа. Такая особенность сенсорного отклика на водород объясняется последовательным действием двух процессов: абсорбцией молекул H2 на поверхности кремниевого нагревателя и каталитической реакцией окисления водорода на Pt-Pd-катализаторе. Для метана сенсорный отклик имеет лишь отрицательную составляющую.
- Chou J. Hazardous Gas Monitors: A Practical Guide to Selection, Operation and Applications. NY: McGraw-Hill Book Company, 1999. 258 p
- Таратын И.А., Хатько В.В. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. С. 9--17
- Пирс К. Рост кристаллов и подготовка подложек // Технология СБИС. В 2-х кн. Под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986. 404 с. (VLSI Technology / Ed. S.M. Sze. NY: McGraw-Hill Book Company, 1983.)
- Блатт Ф. Физика электронной проводимости в твердых телах. М.: Мир, 1971. 470 с. ( Blatt F.J. Physics of electronic conduction in solids. NY: McGraw-Hill Book Company, 1968.)
- Liu L., Zhou F., Wang L., Qi X., Shi F., Deng Y. // J. Catal. 2010. Vol. 274. P. 1--10
- Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. 432 с
- Krawczyk M., Namiesnik J. // J. Autom. Meth. Manag. Chem. 2003. Vol. 25. P. 115--122
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук