Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2012, выпуск 12 » Статья стр. 101
<<<>>>
Особенности формирования короткопериодных многослойных композиций W/B4C
Копылец И.А., Кондратенко В.В., Зубарев Е.Н., Рощупкин Д.В.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 26 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.
PDF версия
Методами малоугловой рентгеновской дифрактометрии в Cu-Kalpha-излучении и электронной микроскопии поперечных срезов изучались количественные характеристики межслоевого взаимодействия в многослойных периодических композициях W/B4C, изготовленных магнетронным напылением. Установлено, что на образование перемешанных зон на границах слоев расходуется приблизительно 0.85 nm толщины слоя вольфрама. Перемешанные слои имеют плотность 13.4±0.7 g/cm3 и содержат вольфрам в связанном химически состоянии. Оценено влияние таких перемешанных зон на рентгеновскую отражательную способность многослойных композиций W/B4C. Предложен способ оценки толщины слоев при малом количестве пиков на дифрактограмме.
  1. Jankowski A.F., Makowiecki D.M., Wall M.A., McKernan M.A. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 65. N 11. P. 4450-4451
  2. Walton C.C., Thomas G., Kortright J.B. // Acta Metall. 1998. Vol. 46. No 11. P. 3767-3775
  3. Бибишкин М.С., Казаков Е.Д., Лучин В.И., Салащенко Н.Н., Чернов В.В., Чхало Н.И., Шевелько А.П. // Квант. электрон. 2008. Т. 38. Вып. 2. С. 169-171
  4. MacDonald M.A., Schafers F. Gaupp A. // Opt. Express. 2009. Vol. 17. N 25. P. 23 290-23 298
  5. Platonov Yu., Gomez L., Broadway D. // Proc. SPIE. 2002. Vol. 4782. P. 152-159
  6. Вайнер Ю.А., Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2007. Т. 1. Вып. 1. С. 7-12
  7. Windt D.L., Craig W.W., Hailey C., Harrison F.A., Jimenes-Garate M., Kalyanaraman R., Mao P.H. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 88. N 1. P. 460-470
  8. Бугаев Е.А., Девизенко А.Ю., Зубарев Е.Н., Севрюкова В.А., Кондратенко В.В. // Металлофиз. новейшие технол. 2008. Т. 30. Вып. 11. С. 1533-1545
  9. Henke B.L., Lee P., Tanaka T.J., Shimabukuro R.L., Fujikawa B.K. / At. Data Nucl. Data Tables. 1982. Vol. 27. P. 1-144
  10. Akhsakhalyan A.A., Akhsakhalyan A.D., Kharitonov A.I., Kluenkov E.B., Murav'ev V.A., Salashchenko N.N. // Centr. Eur. J. Phys. 2005. Vol. 3. N 2. P. 163-177
  11. Виноградов А.В., Брытов И.А., Грудский А.Я. Зеркальная рентгеновская оптика. Л.: Машиностроение, 1989. 463 с
  12. Копылец И.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Ананьев К.А. // Физическая инженерия поверхности. 2011. Т. 9. Вып. 2. С. 182-187
  13. Самсонов Г.В., Марковский Л.Я., Жигач А.Ф. Бор, его соединения и сплавы. Киев: Изд-во АН УССР, 1960. 590 с
  14. Velamakanni A., Ganesh K.J., Zhu Y., Ferreira P.J., Ruoff R.S. // Adv. Funct. Mater. 2009. Vol. 19. P. 1-8
  15. Lazzari R., Vast N., Besson J.M., Baroni S., Dal Corso A. // Phys. Rev. Lett. 1999. Vol. 83. N 16. P. 3230-3233
  16. Коновалихин С.В., Пономарев В.И. // Журн. неорган. хим. 2009. Т. 54. Вып. 2. С. 229-236
  17. Siffalovic P., Jergel M., Chitu L., Majkova E. // J. Appl. Cryst. 2010. Vol. 43. P. 1431-1439

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme