"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Артюков И.А., Бурцев В.А., Виноградов А.В., Девизенко А.Ю., Калинин Н.В., Копылец И.А., Кондратенко В.В., Пуха В.Е., Савицкий Б.А., Фещенко Р.М.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 12 декабря 2011 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E>10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску.
  1. Markert T. H., Forster E. X-Ray Spectroscopy / Digital Encyclopedia of Applied Physics. Wiley-VCH., 2009. P. 89--113
  2. Golant K.M., Lavrishchev S.V., Popov A.V., Artyukov I.A., Feshchenko R.M., Mitrofanov A.N., Vinogradov A.V. // Appl. Opt. 2007. Vol. 46. N 23. P. 5964--5966
  3. Artyukov I.A., Bukreeva I.N., Chernov V.A., Feshchenko R.M., Golant K.M., Jark W., Lavrishchev S.V., Mitrofanov A.N., Popov A.V., Vinogradov A.V. // NIM A. 2009. Vol. 603. P. 66--68.
  4. Шмаль Г., Рудольф Д. Рентгеновская оптика и микроскопия / Пер. с англ. М.: Мир, 1987. 463 с
  5. Bionta R.M. // Appl. Phys. Lett. 1987. Vol. 51. P. 725-727
  6. Kamijo N., Tamura S., Suzuki Y., Handa K., Takeuchi A., Yamamoto S., Ando M., Ohsumi K., Kihara H. // Rev. Sci. Instrum. 1997. Vol. 68. P. 14--16
  7. Asadchikov V.E., Beloglazov V.I., Vinogradov A.V., Voronov D.L., Kondratenko V.V., Kopylov Yu.V., Lebedev N.F., Ponomarenko A.G., Popov A.V., Postnov A.A., Fedorenko A.I. // Proc. SPIE. 1997. Vol. 3113. P. 384--392
  8. McColgan M.W., Zukic M., Kim J., Torr D.G., Fennelly A.J., Fry E.L. // Proc. SPIE. 1994. Vol. 2283. P. 189--199
  9. Kang H.C., Yan H., Winarski R. P., Holt M.V., Maser J., Liu C., Conley R., Vogt S., Macrander A.T., Stephenson G.B. // Appl. Phys. Lett. 2008. Vol. 92. P. 221 114--16
  10. Levashov V.E., Vinogradov A.V. // Appl. Opt. 1993. Vol. 32. N 7. P. 1130--1135
  11. Levashov V.E., Zubarev E.N., Fedorenko A.I., Kondratenko V.V., Poltseva O.V., Yulin S.A., Struk I.I., Vinogradov A.V. // Opt. Commun. 1994. Vol. 109. P. 1--4
  12. Bugaev E.A., Feshchenko R.M., Vinogradov A.V., Voronov D.L., Tokarev V.A., Petukhov V.P. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5918. P. 309--318
  13. Kantsyrev V.L., Safronova A.S., Williamson K.M., Wilcox P., Ouart N.D., Yilmaz M.F., Struve K.W., Voronov D.L., Feshchenko R.M., Artyukov I.A., Vinogradov A.V. // Rev. Sci. Instrum. 2008. Vol. 79. P. 10F542 (1--5)
  14. Voronov D.L., Cambie R., Gullikson E.M., Yashchuk V.V., Padmore H.A., Pershin Y.P., Ponomarenko A.G., Kondratenko V.V. // Proc. SPIE. 2008. Vol. 7077. P. 707 708
  15. Atwood D. Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation. Cambridge; N. Y.: Cambridge University Press, 2000. 486 p
  16. Kopylov Yu.V., Popov A.V., Vinogradov A.V // Opt. Commun. 1995. Vol. 118. P. 619--636
  17. Liu Chian, Conley R., Macrander A.T. // Proc. SPIE. 2006. Vol. 6317. P. 631 70J
  18. Виноградов А.В., Брытов И.А., Грудский А.Я., Коган М.Т., Кожевников И.В., Слемзин В.А. Зеркальная рентгеновская оптика / Под ред. А.В. Виноградова. Л.: Машиностроение, 1989. 463 с
  19. Пеньков А.В., Зубарев Е.Н., Польцева О.В., Пономаренко А.Г., Кондратенко В.В., Бобков В.В., Перегон Т.И., Тищенко Л.П. // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационных повреждений. 2006. Т. 89. N 4. С. 157--163
  20. Диаграммы состояния двойных металлических систем / Под ред. Н.П. Лякишева. М.: Машиностроение, 2000. Т. 3. С. 872

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.