Вышедшие номера
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Артюков И.А., Бурцев В.А., Виноградов А.В., Девизенко А.Ю., Калинин Н.В., Копылец И.А., Кондратенко В.В., Пуха В.Е., Савицкий Б.А., Фещенко Р.М.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 12 декабря 2011 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E>10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску.