Исследован эффект высокотемпературной электронно-стимулированной десорбции на пленках Al₂O₃ толщиной 20 nm, нанесенных на подложку кремния. Эффект электронно-стимулированной десорбции значительно усиливается при нагреве. Обнаружен эффект разрушения пленки до появления чистого Al электронным пучком при нагреве подложки, процесс сопровождается формированием островков, а также областей практически чистой поверхности кремния при достижении некоторой дозы облучения. Показано, что вне облученной области даже при нагреве до 700^oC и отжиге в течение 90 min пленка Al₂O₃ толщиной 20 nm остается сплошной. Исследовано влияние энергии пучка первичных электронов на эффект электронно-стимулированной десорбции от пленки Al₂O₃ толщиной 20 nm на кремнии и установлены параметры, при которых электронно-стимулированная десорбция происходит либо не наблюдается.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.