"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Угловое распределение атомов при магнетронном распылении поликристаллических мишеней
Мартыненко Ю.В., Рогов А.В., Шульга В.И.1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: martyn@nfi.kiae.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2012 г.

Представлены результаты измерений угловых распределений атомов при DC-магнетронном распылении поликристаллов Mg, Al, Cu, Ag, Ta, Pt, Au, Ti, Cr, Zn, Zr и Nb ионами Ar с энергией, не превышающей 0.5 keV. Предложена феноменологическая аппроксимация угловых распределений и найдены подгоночные параметры для каждого из рассмотренных элементов. С помощью компьютерного моделирования распыления, основанного на приближении парных столкновений, определен коэффициент пропорциональности между напряжением магнетронного разряда и средней энергией распыляющих ионов, а также потенциалы межатомного взаимодействия, дающие наиболее точное описание экспериментальных данных. Показано, что полуширина углового распределения, так же как и коэффициент распыления, имеет периодическую зависимость от атомного номера мишени Z2, причем материалы с наибольшими коэффициентами распыления имеют наиболее узкое распределение распыленных атомов.
  • Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1. М.: Мир, 1984. 336 с
  • Бериш Р., Виттмак К. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. 3. М.: Мир, 1998. 39 с
  • Yamamura Y., Takiguchi T., Tawara H. Data Compilation of Angular Distributions of Sputtered Atoms/National Institute for Fusion Science, Report NIFS-DATA-1, Chikusa-ku, Nagoya, Japan, 1990. 183 p
  • Fundamental Processes in Sputtering of Atoms and Molecules / Ed. Sigmund P. Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk., Vol. 43. Berlin; Springer, 1993. 675 p
  • Shulga V.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2000. Vol. 164--165. P. 733
  • Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. Vol. 1 / Ed. by Ziegler J.F., N. Y: Pergamon, 1985. 321 p
  • Wilson W.D., Haggmark L.G., Biersack J.P. // Phys. Rev. B. 1977. Vol. 15. P. 2458. Robinson M.T., Sputtering by Particle Bombardment, I / Ed. Behrisch R. Topics Appl. Phys. Berlin, Heidelberg; Springer, 1981
  • Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. // УФН. 2007. Т. 177. N 5. С. 487
  • Czekaj D., Hollman E.K., Kozirev A.B., Volpias V.A., Zaytsev A.G. // Appl. Phys. A. 1989. Vol. 49. P. 270
  • Czekaj D., Hollman E.K., Volpias V.A., Zaytsev A.G., Chernakova A., Goranchev B. // Bulgarian Journ. of Phys. 1991. Vol. 18. P. 63--67
  • Yuanen S.N., Zhukov V.V., Krivobokov V.P., Patsevich V.V. Phenomenological Model of DC Magnetron Discharge 7-=SUP=-th-=/SUP=- International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: Proceedings --- Tomsk, July 25-30, 2004. --- Tomsk: Publishing house of the IAO SB RAS. 2004. P. 332--335
  • Eckstein W., Garcia-Rosales C., Roth J., Ottenberger W. // Max-Planck Institut Fur Plasmaphysik, IPP 9/82. Fabruary 1993. P. 54. Andersen H.H., Sigmind P. // Danish Atomic Energy Commission, Riso Rep. // 1965. Vol. 103. P. 1
  • Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. М.: Мир, 1995. 319 с
  • Shulga V.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2000. Vol. 170. P. 347. Sigmund P. // Nucl. Instrum. and Methods. B. 1987. Vol. 27. P. 1
  • Гусева М.И., Мартыненко Ю.В. // Физика плазмы. 1976. Т. 2. N 4. С. 593
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.