Вышедшие номера
Получение высококачественных покрытых металлом пироэлектрических пленок SrTiO3
Yoffe A.1, Cohen H.1, Шелухин В.1
1Научно-исследовательский институт им. Вайцмана, Реховот, Израиль
Email: Victor.Shelukhin@weizmann.ac.il
Поступила в редакцию: 24 января 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.

Представлена процедура изготовления покрытых металлом квазиаморфных пироэлектрических тонких пленок SrTiO3. Пленки выращивались с использованием модифицированной установки магнетронного распыления "306 Edwards sputtering" при контролируемых тепловых условиях и стабилизированных с высокой точностью условиях вакуума и давления газов. Представлены результаты исследований трехслойных пленок (200 nm Металл-100 nm SrTiO3-100 nm Металл). Пироэлектрическая природа электрического отклика на нагрев в этих пленках может быть непосредственно установлена в связи с тем, что металлические контакты, изготовленные из одинаковых материалов, не вносили искажений в измерения, исключая тем самым возможность влияния на результаты измерений контактной разницы потенциалов.