Исследование слоев нанокомпозита пористый кремний-оксид олова с помощью метода спектральной эллипсометрии
Болотов В.В.1, Давлеткильдеев Н.А.1, Коротенко А.А.1, Росликов В.Е.1, Стенькин Ю.А.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Омск, Россия
Email: nadim@obisp.oscsbras.ru
Поступила в редакцию: 6 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.
С помощью метода спектральной эллипсометрии исследовано послойное распределение компонентов в нанокомпозите пористый кремний-оксид олова, полученном тремя методами: химического парофазного осаждения, молекулярного наслаивания и магнетронного распыления. Показано, что в нанокомпозитах, сформированных данными методами, SnOx проникает на глубину более 400 nm и неравномерно распределяется по толщине пористого слоя. Наибольшей глубиной проникновения и однородностью послойного распределения SnOx характеризуется нанокомпозит, полученный по методу магнетронного распыления с дополнительной термообработкой.
- Ozdemira S., Gole J.L. // Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 2008. Vol. 11. P. 92--100
- Korotcenkov G. // Mater. Sci. Eng. B. 2007. Vol. 139. P. 1--23
- Arakelyan V.M., Martirosyan Kh.S., Galstyan V.E., Shahnazaryan G.E., Aroutiounian V.M. // Phys. Status Solidi. C. 2007. Vol. 4. P. 2059--2062
- Болотов В.В., Стенькин Ю.А., Поворознюк С.Н., Несов С.В., Пономарева И.В., Кан В.Е., Корусенко П.М. // Тез. докл. III Всерос. конф. по наноматериалам "Нано-2009". Екатеринбург: Уральское изд-во, 2009. С. 85--86
- Болотов В.В., Корусенко П.М., Несов С.Н., Поворознюк С.Н., Росликов В.Е., Стенькин Ю.А., Шелягин Р.В., Князев Е.В., Кан В.Е., Пономарева И.В. // Тез. докл. VII Междун. конф. по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе "Кремний-2010". Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского университета, 2010. С. 101
- Bruggeman D.A.G. // Ann. Phys. 1935. Vol. 24. P. 636--679
- Fujiwara H. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications. Chichester. John Wiley\&Sons Ltd, 2007. P. 177
- Isidirsson J., Granqvist C.G., von Rottkay K., Rubin M. // Appl. Optics. 1998. Vol. 37. P. 7334--7341
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
