Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2011, выпуск 9 » Статья стр. 113
<<<>>>
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Бадалян А.М., Бахтурова Л.Ф., Каичев В.В., Поляков О.В., Пчеляков О.П., Смирнов Г.И.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: trend@niic.nsc.ru
Поступила в редакцию: 29 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2011 г.
PDF версия
Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu0) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
  1. Dobkin D.M., Zuraw M.K. Principles of Chemical Vapor Deposition. Dordrecht: Kluwer Ac. Pub., 2003. 279 p
  2. Cheng C.H., Jones K.A., Motyl K.M. // J. Electron. Mater. 1984. Vol. 13. N 4. P. 703
  3. Igumenov I.K. // J. Phys. IV France. 1995. Vol. 5. P. C5--489
  4. Теоретическая и прикладная химия beta-дикетонатов металлов / Под ред. В.И. Спицына, Л.И. Мартыненко. М.: Наука, 1985. 271 с
  5. Gotkis Y., Guha S. // J. Electron. Mater. 2001. Vol. 30. N 4. P. 396--399
  6. Rice F.O. // Trans. Faraday Soc. 1934. Vol. 30. P. 152--169; Paneth F.A., Hofeditz W. // Chem. Ber. 1929. Vol. 62. P. 1335
  7. The Extraction of Nickel from its Ores by the Mond Process // Nature. 1898. Vol. 59. P. 63--64
  8. Поляков О.В., Бадалян А.М. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 5. С. 60--62
  9. Поляков О.В., Бадалян А.М., Белый В.И. // Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т. 8. N 1--2. С.217--221.
  10. Wagner C.D., Riggs W.M., Davis L.E., Moulder J.F. Handbook of X-Ray Photoeldctron Spectroscopy / Ed. by G.E. Muilenberg. Eden Prairie: Perkin-Elmer Corporation, 1978
  11. Shirley D.A. // Phys. Rev. B. 1972. Vol. 5. P. 4709--4714
  12. Kibar R., Cetin A., Can N. // Physica B: Condensed Matter. 2009. Vol. 404. N 1. P. 105--110
  13. Fu Z., Li M., Yang B., Liu R. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 389. P. 12--15
  14. Lupina G., Schroeder T., Dabrowski J., Wender Ch., Mane A.U., Mussig H.-J., Hoffmann P., Schmeisser D. // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 99. P. 114 109--1--8
  15. Platzman I., Brener R., Haick H., Tannaenbaum R. // J. Phys. Chem. C. 2008. Vol. 112. P. 1101--1108
  16. Otamiri J.C., Andersson S.L.T., Andersson A. // Appl. Phys. Catal. 1990. Vol. 65. P. 159--174
  17. Khassin A.A., Yurieva T.M., Demeshkina M.P., Kustova G.N., Itenberg I.Sh., Kaichev V.V., Plyasova L.M., Anufrienko V.F., Molina I.Yu., Larina T.V., Baronskaya N.A., Parmon V.N. Phys. Chem. Chem. Phys. 2003. Vol. 5. P. 4025--4031
  18. Bertrand G. // Compt. Rend. 1923. Vol. 177. P. 997--999
  19. Keller A. // Nature. 1951. Vol. 167. P. 907--908
  20. Keller A., Korosy F. // Nature. 1948. Vol. 162. P. 580--582

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme