Компьютерное моделирование и анализ технических характеристик термомолекулярных микронасосов
Клосс Ю.Ю.1,2, Мартынов Д.В.1,2, Черемисин Ф.Г.1,3
1Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Вычислительный центр им. А.А. Дородницина РАН, Москва, Россия
Email: kloss@mnpt.kiae.ru
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
Исследованы термомолекулярные микронасосы, работающие без движущихся механических частей, различающиеся по форме, но имеющие в основе один и тот же физический эффект - тепловое скольжение газа вдоль неравномерно нагретых стенок. Показана применимость разработанных методов компьютерного моделирования и программных систем для анализа физических свойств различного типа микронасосов. В качестве критериев работы устройств выступают отношение давлений, создаваемое насосом в установившемся режиме, и геометрия конструкции насоса, необходимая для применения устройства в MEMS-системах. Функциональность насосов изучалась численно с помощью компьютерного моделирования кинетического уравнения Больцмана.
- Nathanson H.C., Liberman I., Freidhoff C. // Proc. IEEE Int. Conf. on MEMS. 1995. P. 72--76
- Blomberg M., Rusanen O., Keranen K., Lehto A. // Proc. IEEE Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators. 1997. Vol. 2. P. 1257--1258
- Terry S.C., Jerman J.H., Angell J.B. // IEEE Trans. on Electron Devices. 1979. Vol. 26. N 12. P. 1880--1886
- Knudsen M. // Ann. Phys. 1910. P. 205
- Knudsen M. // Ann. Phys. 1910. P. 1435
- Pham Van Diep G., Keeley P., Muntz E.P., Weaver D.P. // Rarefied Gas Dynamics / Ed. by J. Harvey, G. Lord. Oxford: Oxford University Press, 1995. P. 715--721
- Vargo S.E., Muntz E.P. // Rarefies Gas Dynamics / Ed. by Shen, Ching, Peking. Beijing: University Press, 1997. P. 995--1000
- Vargo S.E., Muntz E.P., Shiflett G.R., Tang W.C. // J. Vac. Sci. Technol. 1999. P. 2308--2313
- Aoki K., Degond P. and Mieussens L. // J. Comput. Phys. 2009. P. 109
- Aoki K., Degond P., Mieussens L., Nishioka M., and Takata S. // Rarefied Gas Dynamics / Ed. by M.S. Ivanov and Rebrov A.K. Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia, 2007. P. 1079--1084
- Додулад О.И., Клосс Ю.Ю., Черемисин Ф.Г. // Физико-химическая кинетика в газовой динамике. 2010. Т. 2010. http://www.chemphys.edu.ru/media/files/2009-12-21-001.pdf
- Черемисин Ф.Г. // Докл. РАН. 1997. Т. 357. N 1. С. 53--56
- Клосс Ю.Ю., Хохлов Н.И., Черемисин Ф.Г., Шурыгин Б.А. // Атомная энергия. 2008. Т. 105. N 4. С. 211--217
- Клосс Ю.Ю., Хохлов Н.И., Шувалов П.В., Шурыгин Б.А., Черемисин Ф.Г. Моделирование и анализ газокинетических процессов в микро- и наноструктурах. М.: "ИздАт", 2008
- <www.geuz.org/gmsh/>
- Черемисин Ф.Г. // ЖВМ и МФ. 2006. Т. 46. N 2. С. 329--343
- Tcheremissine F.G. // Transport Theory and Statistical Physics. 2008. Vol. 37. N 5. P. 564--575
- Клосс Ю.Ю., Хохлов Н.И., Черемисин Ф.Г., Шурыгин Б.А. // Информационные процессы. 2007. Т. 7. N 4. С. 425--431
- Hirschfelder J.O., Curtiss Ch.F., Bird R.B. Molecular theory of gases and liquids. NY. John Wiley and Sons Inc., London: Champan and Hall Lim., 1954
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
