Вышедшие номера
Трехволновая дифракция в нарушенных эпитаксиальных слоях с вюрцитной структурой
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.

Проведены экспериментальные измерения трехволновой дифракции рентгеновских лучей по схеме Реннингера для серии эпитаксиальных слоев GaN различной толщины и разного структурного совершенства. В каждом угловом интервале азимутального вращения в 30o наблюдаются все 10 трехволновых пиков, обусловленных геометрией дифракции с первичным запрещенным отражением 0001 и CuKalpha-излучением. Для каждой трехволновой комбинации измерены дифракционные кривые varphi- и theta-сканирования. Проанализированы угловая полуширина полученных дифракционных пиков и ее связь с параметрами двухволновой дифракционной картины и дислокационной структурой слоев. Показано, что пики varphi-сканирования менее чувствительны к степени структурного совершенства, чем пики theta-моды. Из последних наибольшая зависимость от плотности дислокаций наблюдается для трехволновых комбинаций (1100)/(1101) и (3210)/(3211) с чистой Лауэ-составляющей вторичного отражения, а наименьшая --- для комбинации (0113)/(0112) с большой брэгговской составляющей. Обнаружено расщепление трехволновых пиков Реннингера, обусловленное крупноблочной структурой некоторых из исследованных слоев с разворотами блоков вокруг нормали к поверхности. Определена полная интегральная интенсивность всех трехволновых комбинаций, их соотношения качественно соотносятся с теорией.
  1. Renninger M. // Z. Phys. 1937. Bd 106. S. 141
  2. Cole H., Chambers F.W., Dunn H.M. // Acta Cryst. 1962. Vol. 15. P. 138
  3. Kottwitz D.A. // Acta Cryst. 1968. Vol. A24. P. 117
  4. Prager P.R. // Acta Cryst. 1971. Vol. A27. P. 563
  5. Chang S.L. // Appl. Phys. Lett. 1980. Vol. 37. P. 819
  6. Rossmanith E. // Acta Cryst. 2002. Vol. A58. P. 473
  7. Rossmanith E. // J. Appl. Cryst. 2000. Vol. 33. P. 323
  8. Sasaki J.M., Cardoso L.P., Campos C., Roberts K.J., Clark G.F., Pantos E., Sacilotti M.A. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. P. 3492
  9. Korytar D., Ferrary C., Bochnicek Z. // J. Appl. Cryst. 1998. Vol. 31. P. 570
  10. Freitas R.O., Lamas T.E., Quivy A.A., Morelhao S.L. // Phys. Status Solidi A. 2007. Vol. 204. P. 2548
  11. Lei T., Ludwig K.F., Jr, Moustakas T.D. // J. Appl. Phys. 1993. Vol. 74. P. 4430
  12. Heying B., Wu X.H., Keller S., Li Y., Kaponek D., Keller B.P., DenBaars S.P., Speck J.S. // Appl. Phys. 1996. Vol. 68. P. 643
  13. Metzger T., Hopler R., Born E., Anbacher O., Stutzmann M., Stommer R., Schuster M., Gobel H., Christiansen S., Albrecht M., Strunk H.P. // Phil. Mag. 1998. Vol. A77. P. 1013
  14. Кютт Р.Н., Ратников В.В., Мосина Г.Н., Щеглов М.П. // ФТТ. 1999. Т. 41. С. 30
  15. Heinke H., Kirchner V., Selke H., Chierchia R., Ebel R., Einfeldt S., Hommel D. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P. A25
  16. Ratnikov V.V., Kyutt R.N., Shubina T.V., Pashkova T., Monemar B. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 2001. Vol. 34. P. A30
  17. Sricant V., Speck J.S., Clarke D.R. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. P. 4286
  18. Blasing J., Krost A. // Phys. Status Solidi A. 2004. Vol. 201. P. 17
  19. Blassing J., Krost A., Hertkorn J. et al. // J. Appl. Phys. 2009. Vol. 105. P. 033 504
  20. Ahe M. von der, Cho Y.S., Kaluza N. et al. // Proc. 9-=SUP=-th-=/SUP=- Biennial Conf. on High Resolution X-ray Diffraction and Imaging. Linz, Austria. 2008. P. 96
  21. Кютт Р.Н. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. Вып. 15. С. 14-20
  22. Rossmanith E. // Acta Cryst. 2007. Vol. A63. P. 251

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.