Вышедшие номера
Новые возможности количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов структур Fe/Si
Паршин А.С., Кущенков С.А., Александрова Г.А., Овчинников С.Г.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.

На примере слоистых структур железа на кремниевых подложках показана возможность определения элементного состава, химического состояния и распределения элементов по толщине приповерхностной области из результатов компьютерного моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в рамках диэлектрической теории и экспериментального определения произведения средней длины неупругого пробега на сечение неупругого рассеяния электронов по потерям энергии из спектров потерь энергии отраженных электронов.
  1. Egert B., Panzner G. // Phys. Rev. B. 1984. Vol. 29. N 4. P. 2091--2101
  2. Gallego J.M., Miranda R. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. N 3. P. 1337--1383
  3. Gallego J.M., Garcia J.M., Alvarez J. et al. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 63. N 20. P. 13 339--13 344
  4. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Малыгин Д.Е. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 9. С. 106--110
  5. Гомоюнова М.В., Малыгин Д.Е., Пронин И.И. // ФТТ. 2006. Т. 48. Вып. 10. С. 1898--1902
  6. Wang L., Lin C., Shen Q. et al. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 66. N 25. P. 3453--3455
  7. Паршин А.С., Александрова Г.А., Долбак А.Е. и др. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 9. С. 41--48
  8. Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 125--129
  9. Tougaard S. <http://www.quases.com>
  10. Tougaard S., Chorkendorff I. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. N 13. P. 6570--6577
  11. Лифшиц В.Г., Луняков Ю.В. Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии. Владивосток: Дальнаука, 2004. 315 с
  12. Yubero F., Tougaard S. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 46. N 4. P. 2486--2497
  13. Паршин А.С., Кущенков С.А., Александрова Г.А. // Physics of Electronic Mat. 3-=SUP=-rd-=/SUP=- Int. Conf. Proc. Kaluga, Russia. Vol. 1. Kaulga: KSPU Press, 2008. P. 231--234
  14. Кущенков С.А., Паршин А.С., Александрова Г.А., Ходенков С.А. // Вест. Сибирского гос. аэрокосмического ун-та им. академика М.Ф. Решетнева, 2009. Вып. 4(25). С. 129--134
  15. Schleberger M. // Surf. Sci. 2000. Vol. 445. P. 71--79

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.