Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2011, выпуск 2 » Статья стр. 75
<<<>>>
Особенности тензорезистивного эффекта в тонких металлических пленках в области упругой и пластической деформации
Бурык И.П.1, Великодный Д.В.1, Однодворец Л.В.1, Проценко И.Е.1, Ткач Е.П.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: protsenko@aph.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 22 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 января 2011 г.
PDF версия
Изучены особенности тензорезистивного эффекта в одно- и двуслойных пленках Cr, Fe, Mo, Ni, Pd и Fe/Cr, Cu/Cr, Ni/Cr, Pd/Fe в области упругой и пластической деформации. Проанализирован вопрос о вкладе поверхностного и зернограничного рассеивания электронов в чувствительность к деформации однослойных пленок Srho. Проведено сравнение величины Srho одно- и двуслойных пленок при упругой и пластической деформации. Сделан вывод, что в случае пленочной системы Fe/Cr основной вклад в величину Srho вносит объемное и зернограничное рассеивание электронов. При этом зернограничное рассеивание одинаково эффективно как при упругой, так и при пластической деформации, о чем говорит большое значение коэффициента рассеивания электронов на границах зерен (R=~0.36-0.41).
  1. Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. 2000. Т. 89. N 1. С. 91--112
  2. Поздняков В.А., Глезер А.М. // ФТТ. 2002. Т. 44. Вып. 4. С. 705--709
  3. Глезер А.М. // Изв. РАН. Сер. физ. 2003. Т. 67. N 6. C. 810--817
  4. Носкова Н.И., Волкова Е.Г. // ФММ. 2001. Т. 91. N 6. С. 100--107
  5. Носкова Н.И., Волкова Е.Г. // ФММ. 2001. Т. 92. N 4. С. 107--111
  6. Lee H.-J., Cornella G., Bravman J.C. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 76. N 23. P. 3415--3417
  7. Lee H., Zhang P., Bravman J.C. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 93. N 3.P. 1443--1451
  8. Legros M., Cabie M., Gianola D.S. // Microsc. Res. Techniq. 2009. Vol. 2. N 3. P. 270--283
  9. Emery R.D., Povirk G.L. // Acta Mater. 2003. Vol. 51. P. 2067--2078
  10. Emery R.D., Povirk G.L. // Acta Mater. 2003. Vol. 51. P. 2079--2087
  11. Espinosa H.D., Prorok B.C., Peng B. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 52. P. 667--689
  12. Иевлев В.М., Белоногов Е.К., Максименко А.А., Агапов Б.Л., Шкатов В.В. Деформация и разрушение материалов. Т. 1. М.: Изд-во МГИУ, 2006. С. 468--471
  13. Protsenko S.I., Velykodnyi D.V., Kheraj V.A., Desai M.S., Panchal C.J., Protsenko I.Yu. // J. J. Mater. Sci. 2009. Vol. 44. N 18. P. 4905--4910
  14. Odnodvorets L., Protsenko S., Synashenko O., Velykodnyi D., Protsenko I. // Cryst. Res. Technol. 2009. Vol. 44. N 1. P. 74--81
  15. Клокова Н.П. Тензорезисторы. М.: Машиностроение, 1990. 224 с
  16. Lasyuchenko O., Odnodvorets L., Protsenko I. // Cryst. Res. Technol. 2000. Vol. 35. N 3. P. 329--332
  17. Великодный Д.В., Проценко С.И., Проценко И.Е. // ФИП. 2008. Т. 6. N 1--2. С. 37--42
  18. Tellier C.R., Tosser A.J. Size effects in thin films. Amsterdam--Oxford--NY: ESPC, 1982. 309 p

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme