Вышедшие номера
Измерение глубоких микрорельефов и стереосъемка в растровой электронной микроскопии
Саксеев Д.А., Ершенко Е.М., Барышев С.В., Бобыль А.В., Агафонов Д.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Проанализированы принципиальные различия между обычной фотографией и съемкой микрообъектов в растровой электронной микроскопии (РЭМ). Описаны основные правила и приемы для получения стереоскопических изображений в РЭМ методом поворота образца, а также техника их наблюдения. Показано, что стереофотография дает правильную оценку пространственного взаимного расположения элементов образцов со сложным микрорельефом и позволяет с высокой точностью рассчитывать глубину (в ряде случаев превышающую размер поля зрения при больших увеличениях) этого рельефа в широких пределах (от 0.5 до 100 mum). На примере развитой поверхности оксида Li4Ti5O12 и нитевидных монокристаллов GaAs описана методика такого расчета, основанная на линейных измерениях одного и того же участка образца, снятого до и после его поворота.