"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Методы исследования тонких диэлектрических пленок в миллиметровом диапазоне
Власов С.Н.1, Паршин В.В.1, Серов Е.А.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: serov@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2010 г.

Для миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов длин волн предлагается оригинальный метод измерения параметров диэлектрических пластинок и пленок толщиной меньше lambda/2, основанный на определении характеристик мод открытого резонатора Фабри-Перо, имеющих различную поляризацию. Этим методом для изотропных материалов находятся как величина показателя преломления и tgdelta, так и толщина пленок. Для анизотропных пленок с известной толщиной метод позволяет измерять компоненты тензора диэлектрической проницаемости. Исследованы популярные пленочные материалы --- тефлон (политетрафторэтилен, PTFE), лавсан (майлар, полиэтилентерефталат, PETP), полиамид с минимальной толщиной ~5 mum. Выявлена заметная анизотропия рулонных пленочных материалов, а также зависимость диэлектрических свойств от толщины, обусловленная технологией производства. Проведены исследования зависимости показателя преломления и tgdelta пленок от влажности воздуха.
  1. Власов С.Н., Копосова Е.В., Мясникова С.Е., Паршин В.В. // Радиофизика. 2006. Т. 49. Вып. 3. С. 219
  2. Дрягин Ю.А., Чухвичев А.Н. // Радиофизика. 1962. Т. 12. Вып. 8. С. 1245
  3. Калинкевич А.А. // Радиофизика. 1978. Т. 21. Вып. 11. С. 1648
  4. Власов С.Н., Копосова Е.В., Мазур А.Б., Паршин В.В. // Радиофизика. 1996. Т. 39. Вып. 5. С. 615
  5. Cullen A.L. // Infrared and Millimeter Waves, Orlando, FL: Academic Press, 1983. Vol. 10. P. 233
  6. Dryagin YuA., Parshin V.V. // Infrared and Millimeter Waves. 1992. Vol. 13. P. 1023
  7. Власов С.Н., Копосова Е.В., Мясникова С.Е., Паршин В.В. // ЖТФ. 2002. Т. 22. Вып. 12. С. 79

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.