Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Определение оптических свойств и толщины нанослоев по угловым зависимостям коэффициента отражения

Биленко Д.И.¹, Сагайдачный А.А.¹, Галушка В.В.¹, Полянская В.П.¹

¹Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия Saratov State University, Saratov, Russia

Saratov State University, Saratov, Russia

Email: bil@sgu.ru

Поступила в редакцию: 28 мая 2009 г.

Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

PDF версия

Исследованы возможности многопараметрового определения свойств структур на основе данных о зависимости коэффициентов отражения поляризованного излучения R_p, R_s и отношения R_p/R_s от угла падения theta, а также на основе угловой зависимости 1/R_p(Delta R/Deltatheta). Данные натурных и вычислительных экспериментов показали высокую чувствительность угловой зависимости коэффициента отражения R_p(theta) к значениям оптических констант и толщине слоистых структур. Количественные результаты многопараметровых измерений проверены независимым методом спектральной эллипсометрии. Установлены возможности многопараметрового определения свойств и толщины нанометровых диэлектрических, металлических и полупроводниковых слоев на различных подложках и свойств подложек в таких структурах.

Kovalenko S.A., Lisitsa M.P. // Semiconductors Physics, Quantum Electronics, and Optoelectronics. 2001. Vol. 4. N 4. P. 352-357
Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. Т. 4. М.: Мир, 1970. С. 7-122
Kovalenko S.A., Lisitsa M.P. // Semiconductor Physics, Quantum Electronics, and Optoelectronics. 2002. Vol. 5. N 3. P. 294-299
Физика тонких пленок / Под ред. В.С. Хангулова. Т. 1. М.: Мир, 1967. 344 с
Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю. и др. // Опт. и спектр. 1983. Т. 55. N 5. С. 885-890
Левченко А.С. Разработка и совершенствование оптических методов измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных пленок. Автореф. дис. канд. наук. Краснодар, 2006
Chinowsky T.M., Quinn J.G. // Sensors and Actuators. 2003. Vol. 6954. P. 1-9
Золотарев В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических сред. Л.: Химия, 1984. 216 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель