"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез нанокристаллических пленок диоксида титана в цилиндрическом газовом разряде магнетронного типа и их оптическая характеризация
Гончаров А.А., Евсюков А.Н., Костин Е.Г., Стеценко Б.В.1, Фролова Е.К., Щуренко А.И.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 12 января 2010 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.

Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и спектральных характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа. Спектр излучения плазмы регистрировался в диапазоне 350--820 в режиме реального времени. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiO2, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO2 как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана демонстрируют наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки.
  1. Musil J., Baroch P., Vlv cek J. et al. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 475. p. 208--218
  2. Tanemura S., Miao L., Wunderlich W. et al. // Sci. and Techn. of Advanced Materials. 2005. Vol. 6. P. 11--17
  3. Goncharov A.A., Demchishin A.V., Demchishin A.A. et al. // Techn. Phys. 2007. Vol. 52. N 8. P. 1073--1078
  4. Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В. и др. // ЖТФ. 2009. Т. 29. Вып. 7. С. 127--132
  5. Гончаров А.А., Демчишин А.В., Костiн С-5pt-.Г. и др. // Декларац. пат. N 1994. 15.09. 2003. Бюл. N 9
  6. Bobkov V.V., Alimov S.S., Andreiev V.V. et al. // 29 th EPS Conf. on Plasma Phys. and Contr. Fusion. 2002. Vol. 26B. P. 2.028
  7. Евсюков А.Н., Стеценко Б.В. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 6. С. 99--101
  8. Сейдман Л.А. // Электронная техника. Сер. Полупроводниковые приборы. 1985. Вып. 2(175). С. 69--75
  9. Panchenko O.A., Goncharov A.A., Demchishin A.V. et al. // Problems of Atomic Sci. and Techn. Ser. Plasma Physics (11). 2005. N 2. P. 170--172
  10. Berg S., Blom H-O., Larsson T. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. Vol. 5(2). P. 202--207
  11. Ellmer K., Mientus R. // Proc. 11 Conf. on High Vacuum, Interfaces and Thin Films. Dresden. Germany, 1994
  12. Demchishin A.V., Evsyukov A.N., Goncharov A.A. et al. // Problems of Atomic Sci. and Techn. Ser. Plasma Physics (14). 2008. N 6. P. 195--197
  13. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981
  14. Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса и З.Э. Туна. М.: Мир, 1967. Т. 2. 152 с
  15. Гарбуниб М. Физика оптических явлений. М.: Энергия, 1967. 374 с
  16. Ionic Materials // Phys. Rev. B. 1971. Vol. 3. Is. 4. P. 1338-1351
  17. Bendavid A., Martin P.J., Jamting A. et al. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 355--356. P. 6--11
  18. Zhang M., Lin G., Dong Ch. et al. // Surface and Coatings Techn. 2007. Vol. 201. P. 7252--7258
  19. Wriedt H.A., Murray J.L. Binary Alloy Phase Diagrams. Vol. 2. Ohio: American Society for Metals, 1986
  20. Barnes M.C., Kumar S., Green L. et al. // Surface and Coatings Techn. 2005. Vol. 190. P. 321--330
  21. Kingery W.D., Bowen H.K., Uhlmann D.R. Introduction to Ceramics. N.Y.: Wiley, 1976
  22. Мовчан Б.А., Демчишин А.В. // ФММ. 1969. Т. 28. Вып. 4. С. 653--660
  23. Thornton J.A. // J. Vac. Sci. Techn. A. 1986. Vol. 4(6). P. 3059--3065
  24. Han J.G. // J. Phys. D: Appl. Phys. Vol. 42. P. 043 001

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.