Вышедшие номера
Об особенностях роста пленок высшего силицида марганца на кремнии
Орехов А.С., Камилов Т.С., Гаибов А.Г., Вахабов К.И., Клечковская В.В.1
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 5 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Выращивались пленки слицида марганца на кремнии в условиях диффузионного легирования кремния из парогазовой фазы в равновесных и неравновесных условиях в зависимости от весовых значений лигатуры. Выявлены некоторые особенности динамики их формирования.
  1. Zhang L., Ivey D. // J. Mater. Sci. 1991. Vol. 2. P. 116
  2. Bost M.C., Mahan J.E. // J. Electron Mater. 1987. Vol. 16. P. 389
  3. Eizenberg M., Tu K.N. // J. Appl. Phys. 1982. Vol. 53. P. 6885
  4. Sundstrom K.E., Peterson S., Tove P.A. // Phys. Status Solidi. A. 1973. Vol. 20. P. 653
  5. Wang J., Hirai M., Kusaka M., Iwami M. // Appl. Surf. Sci. 1997. Vol. 113/114. P. 53
  6. Krontiras Ch., Pomoni K., Roilos M. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 21. P. 509
  7. Lian Y.C., Chen L.J. // Appl. Phys. Lett. 1986. Vol. 48. P. 359
  8. Mogilatenko A. Electron Microscopy Characterzation of Manganese Silicide Layers on Silicon. Ph. D. Thesis. Chemnitz: TU Chemnitz, 2003. 134.p
  9. Kamilov T.S., Uzokov A.A., Kabilov D.K. et al. // Proc. 22nd Int. Conf. on Thermoelectrics. France, 2003. P. 388
  10. Kamilov T.S., Kabilov D.K., Samiev I.S. et al. // Proc. 24th Int. Conf. on Thermoelectrics. Clemson, SC, USA, 2005. P. 415
  11. Камилов Т.С., Кабилов Д.К., Самиев И.С. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 8. С. 140
  12. Барыбин А.А., Сидоров В.Г. Физико-технологические основы электроники. СПб: Изд-во "Лань", 2001. 272 с
  13. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов. М.: Высш. школа, 1974. 400 с
  14. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута и др. М.: Мир, 1982. 389 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.