ФТТ, 2003, том 45, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Диэлектрические многослойные наноструктуры оксидов тантала и алюминия

Ю.К.Ежовский, А.И.Клусевич

Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет),
198013 Санкт-Петербург, Россия

(Поступила в Редакцию 22 января 2003 г.
В окончательной редакции 4 апреля 2003 г.)

Представлены экспериментальные результаты изучения процесса формирования и некоторых диэлектрических характеристик многослойных наноструктур, полученных на основе оксидов тантала и алюминия методом молекулярного наслаивания. Показано, что диэлектрическая проницаемость таких структур практически линейно зависит от состава композиции, а их проводимость --- от соотношения толщин каждого слоя, причем при di,j<5 nm существенный вклад вносят туннельные явления.

 PDF версия (181Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster