Издателям
Вышедшие номера
Диэлектрические многослойные наноструктуры оксидов тантала и алюминия
Ежовский Ю.К.1, Клусевич А.И.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.

Представлены экспериментальные результаты изучения процесса формирования и некоторых диэлектрических характеристик многослойных наноструктур, полученных на основе оксидов тантала и алюминия методом молекулярного наслаивания. Показано, что диэлектрическая проницаемость таких структур практически линейно зависит от состава композиции, а их проводимость --- от соотношения толщин каждого слоя, причем при di,j<5 nm существенный вклад вносят туннельные явления.
  • Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет. Мир, М. (1981). 583 с
  • В.К. Громов. Введение в эллипсометрию. Изд-во ЛГУ, Л. (1986). 192 с
  • В.И. Нефедов, В.Т. Черепин. Физические методы исследования поверхности твердых тел. Наука, М. (1983). 296 с
  • В.И. Нефедов. Рентгено-электронная спектроскопия химических соединений. Химия, М. (1984). 256 с
  • Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy. Perkin-Elmer Corporation Physical Electronics Division 6509 Flying Cloud Drive. Edom Prairie, Minnesota 55344 (1978). 456 p
  • С.И. Кольцов, Г.В. Свешникова, В.Б. Алесковский. ЖПХ 43, 5, 1150 (1970)
  • С.И. Кольцов, В.Е. Дрозд, Т.А. Редрова. ДАН СССР 235, 5, 1090 (1977)
  • В.Б. Алесковский. Вестн. АН СССР 6, 52 (1975)
  • В.Б. Алесковский, В.К. Адамчук, В.Е. Дрозд, В.И. Губайдулин, А.И. Романычев, А.В. Федоров. ДАН СССР 303, 6, 1390 (1988)
  • Ю.К. Ежовский, П.М. Вайнштейн. ЖФХ 71, 12, 2222 (1997)
  • Ю.К. Ежовский, П.М. Вайнштейн. ЖПХ 71, 2, 227 (1998)
  • Ю.К. Ежовский, Г.В. Аникеев, С.И. Кольцов. Изв. АН СССР. Неорган. материалы 24, 619 (1988)
  • В.Б. Лазарев, В.Г. Красов, И.С. Шаплыгин. Электропроводность окисных систем и пленочных структур. Наука, М. (1979). 68 с
  • Н.Ф. Мотт. Электронные процессы в некристаллических веществах. Мир, М. (1982). 658 с
  • С. Зи. Физика полупроводниковых приборов. Мир, М. (1984). 456 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.