ФТТ, 2003, том 45, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Моделирование напряженного состояния пластин кремния большого диаметра в процессе термического отжига

М.В.Меженный, М.Г.Мильвидский *, А.И.Простомолотов **

Государственный научно-исследовательский институт редкометаллической промышленности \glqq Гиредмет\grqq,
109017 Москва, Россия
* Институт химических проблем микроэлектроники,
109017 Москва, Россия
** Институт проблем механики Российской академии наук,
109017 Москва, Россия
E-mail: icpm@mail.girmet.ru

(Поступила в Редакцию 11 марта 2003 г.)

Сформулирована и решена в изотропном приближении трехмерная задача определения поля напряжений и деформаций в бездислокационных пластинах кремния диаметром 200 и 300 mm, располагающихся горизонтально на трех симметрично расположенных опорах, в условиях действия гравитационных сил и термических напряжений. Показано, что в случае действия гравитационных сил пластина в целом наименее напряжена при расположении опор на расстоянии 0.6-0.7R от центра пластины. Рассчитаны поля сдвиговых напряжений для всех возможных систем скольжения. Установлено, что для пластин диаметром 300 mm даже при радиальном перепаде температуры 10 K решающую роль в формировании поля упругих напряжений играют гравитационные силы. В пластинах диаметром 200 mm при таком перепаде температур вклад термических напряжений соизмерим с вкладом гравитационных сил. При радиальных перепадах температур менее 5 K вкладом термических напряжений можно пренебречь и в случае пластин диаметром 200 mm. Исходя из полученных значений максимальных сдвиговых напряжений, нельзя исключать возможность генерации дислокаций в пластинах в области контакта с опорами в процессах высокотемпературного отжига пластин диаметром 200 mm и особенно пластин диаметром 300 mm.

Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 01-02-16816).

 PDF версия (781Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster