Сформулирована и решена в изотропном приближении трехмерная задача определения поля напряжений и деформаций в бездислокационных пластинах кремния диаметром 200 и 300 mm, располагающихся горизонтально на трех симметрично расположенных опорах, в условиях действия гравитационных сил и термических напряжений. Показано, что в случае действия гравитационных сил пластина в целом наименее напряжена при расположении опор на расстоянии 0.6-0.7R от центра пластины. Рассчитаны поля сдвиговых напряжений для всех возможных систем скольжения. Установлено, что для пластин диаметром 300 mm даже при радиальном перепаде температуры 10 K решающую роль в формировании поля упругих напряжений играют гравитационные силы. В пластинах диаметром 200 mm при таком перепаде температур вклад термических напряжений соизмерим с вкладом гравитационных сил. При радиальных перепадах температур менее 5 K вкладом термических напряжений можно пренебречь и в случае пластин диаметром 200 mm. Исходя из полученных значений максимальных сдвиговых напряжений, нельзя исключать возможность генерации дислокаций в пластинах в области контакта с опорами в процессах высокотемпературного отжига пластин диаметром 200 mm и особенно пластин диаметром 300 mm. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 01-02-16816).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.