Рассмотрен управляемый вакуумно-дуговой синтез наночастиц и нанокристаллических слоев на основе диоксида циркония ZrO₂, позволяющий регулировать процентное соотношение моноклинной и тетрагональной фаз. Образование тетрагональной фазы связано с формированием большого количества кислородных вакансий, образующихся за счёт высокоскоростной закалки наночастиц. Образцы были охарактеризованы при помощи рентгенофазового анализа. Электрические свойства образцов исследованы методом импедансной спектроскопии и измерением вольт-амперных характеристик. Установлена зависимость диэлектрической проницаемости и проводимости в режиме постоянного тока от фазового состава. Сосуществование фаз m- и t-ZrO₂ обеспечивают дефицит кислорода в объеме образца. Это способствует формированию двух обратимых состояний сопротивления - эффект резистивного переключения. Ключевые слова: вакуумная дуга, оксид циркония, мемристор, кислородные вакансии.