В данной работе исследовался процесс осаждения оксида алюминия на пленки, образованные нитевидными нанокристаллами ITO, а также влияние защитного слоя на оптические характеристики покрытия. На начальных стадиях пленка Al₂O₃ покрывает тонким слоем поверхность отдельных нитевидных нанокристаллов, сохраняя градиентный характер показателя преломления покрытия. По мере увеличения слоя Al₂O₃ вследствие разброса нанокристаллов ITO по высоте формируется рельеф, образуемый куполообразными выпуклостями на поверхности получаемой пленки с характерным масштабом до 1 mkm, что позволяет создать эффективно рассеивающую свет структуру. Ключевые слова: наноструктурированные пленки, ITO, магнетронное распыление, оксид алюминия, рассеяние света.