Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование структуры и электрических свойств нанокомпозитных пленок W_xSi_1-x

DOI: 10.21883/FTT.2022.09.52802.08HH

Переводная версия: 10.21883/PSS.2022.09.54147.08HH

Совет по грантам Президента Российской Федерации, Грант Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук, МК-2926.2022.1.2

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, В рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2020-2022 годы, FZGU-2020-0036

Хыдырова С.

¹, Михайлова И.В.¹, Васильев Д.Д.

¹, Моисеев К.М.

¹, Барков К.А.

², Ивков С.А.

², Буйлов Н.С.

², Керсновский Е.С.²

¹Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russia

²Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия Voronezh State University, Voronezh, Russia

Email: hydyrova.selbi@yandex.ru, d.d.vasiliev@bmstu.ru, k.moiseev@bmstu.ru, barkov@phys.vsu.ru, ivkov@phys.vsu.ru, hydyrova.selbi@ya.ru

Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.

В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.

Принята к печати: 12 мая 2022 г.

Выставление онлайн: 21 июня 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Проведено экспериментальное исследование структуры и фазового состава методами рентгеновской, рамановской и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии, а также исследование электрических свойств пленок W_xSi_1-x, использующихся в качестве чувствительных элементов сверхпроводниковых однофотонных детекторов (SNSPD), в зависимости от толщины в диапазоне от 7 до 80 nm, по результатам которого обнаружено, что фаза W₃Si предположительно формируется в пленках толщиной 20 и 40 nm с удельным сопротивлением 8.4·10^-5 и 6.0·10^-5 Ω ·cm соответственно, содержащих фазы WSi₂, W₅Si₃ и SiO₂, а также WO_x и небольшую долю β-W. Пленки толщиной 7 nm имеют наибольшее удельное сопротивление 18.0·10^-5 Ω ·cm и содержат нанокристаллы, WSi₂, SiO₂, а также β-W и фазу аморфного кремния. В пленках толщиной 80 nm (удельное сопротивление также 18.0·10^-5 Ω ·cm) преимущественно содержится WSi₂, а также W₅Si₃ и SiO₂ и, предположительно, фаза W₃Si. Ключевые слова: сверхпроводниковый однофотонный детектор, фазовый состав, рентгеноаморфная структура, сверхпроводящие пленки WSi, спектроскопия.

T. Yamashita, S. Miki, H. Terai. IEICE Transact. Electron. 100, 3, 274 (2017)
E.E. Wollman, V.B. Verma, A.E. Lita, F.H. Farr, M.D. Shaw, R.P. Mirin, S.W. Nam. Opt. Exp. 27, 24, 35279 (2019)
V.B. Verma, B. Korzh, A.B. Walter, A.E. Lita, R.M. Briggs, M. Colangelo, Y. Zhai, E.E. Wollman, A.D. Beyer, J.P. Allmaras, H. Vora, D. Zhu, E. Schmidt, A.G. Kozorezov, K.K. Berggren, R.P. Mirin, S.W. Nam, M.D. Shaw. APL Photon. 6, 5, 056101 (2021)
B. Baek, A.E. Lita, V. Verma, S.W. Nam. Appl. Phys. Lett. 98, 25, 251105 (2011)
J. Jin, F. Fu, X. Jia, L. Kang, Z. Wang, X. Tu, L. Zhang, B.B. Jin, J. Chen, W. Xu, P. Wu. IEEE Transact. Appl. Supercond. 29, 5, 1 (2019)
X. Zhang, A. Engel, Q. Wang, A. Schilling, A. Semenov, M. Sidorova, H.-W. Huebers, I. Charaev, K. Ilin, M. Siegel. Phys. Rev. B 94, 17, 174509 (2016)
F. Marsili, V.B. Verma, J.A. Stern, S. Harrington, A.E. Lita, T. Gerrits, I. Vayshenker, B. Baek, M.D. Shaw, R.P. Mirin, S.W. Nam. Nature Photon. 7, 3, 210 (2013)
T. Cecil, A. Miceli, O. Quaranta, C. Liu, D. Rosenmann, S. Mc Hugh, B. Mazin. Appl. Phys. Lett. 101, 3, 032601 (2012)
O. Quaranta, T.W. Cecil, A. Miceli. IEEE Transact. Appl. Supercond. 23, 3, 2400104 (2012)
S. Kondo. J. Mater. Res. 7, 4, 853 (1992)
S. Itoh. J. Phys.: Condens. Matter 2, 16, 3747 (1990)
В.А. Терехов, Д.С. Усольцева, О.В. Сербин, И.Е. Занин, Т.В. Куликова, Д.Н. Нестеров, К.А. Барков, А.В. Ситников, С.К. Лазарук, Э.П. Домашевская. Конденсированные среды и межфазные границы 20, 1, 135 (2018)
Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С.Чумак, В.В. Кондратенко. Журн. физики и инженерии поверхности 1, 1, 27 (2016)
Е.Н. Решетняк, С.В. Малыхин, Ю.П. Першин, А.Т. Пугачев. Вопросы атомной науки и техники 3, 161 (2003)
И.В. Михайлова, В.А. Мамонтова, С. Хыдырова, М.Ю. Акишин, Д.Д. Васильев, К.М. Моисеев. Наноиндустрия 13, 39 (2020)
V.A. Terekhov, V.M. Kashkarov, E.Y. Manukovskii, A.V. Schukarev, E.P. Domashevskaya. J. Electron Spectroscop. Rel. Phenomena 114, 895 (2001)
F.M. d'Heurle, F.K. LeGoues, R. Joshi, I. Suni. Appl. Pphys. Lett. 48, 5, 332 (1986).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель