Вышедшие номера
Особенности эпитаксиального роста YBCO в окнах задающей маски
РФФИ, № 20-08-01006
Мастеров Д.В. 1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е. 1
1Институт физики микроструктур РАН --- филиал Института прикладной физики РАН, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru, parlov@ipmras.ru, parafin@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 29 апреля 2022 г.
Принята к печати: 12 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 21 июня 2022 г.

Посвящена исследованию морфологии и электрофизических характеристик эпитаксиальных пленок YBCO, полученных методом лазерного распыления, при осаждении YBCO в окна задающей маски (ЗМ). Совершенствованию морфологии пленки YBCO посвящено большое количество работ, где снижение плотности и размеров дефектов в пленках YBCO осуществляется, за счет снижения температуры роста, но при этом одновременно ухудшаются и электрофизические параметры пленок. Кардинальное отличие нашего подхода, а именно, использование предложенного нами метода задающей маски, заключается в том, что мы осаждаем YBCO на подложку с заранее сформированной маской, задающей топологию структуры. Нами показано, что морфология пленки YBCO вблизи границы с ЗМ может радикально отличаться от морфологии пленки YBCO в широких областях вдали от границы ЗМ. При этом в режиме роста, оптимальном по электрофизическим характеристикам, пленка YBCO в узких протяженных окнах ЗМ обладает совершенной ("very smooth") поверхностью, тогда как плотность дефектов на участках пленки вдали от границы пленка - ЗМ составляет величину более 107 cm-2. Наблюдаемый эффект открывает возможность формирования YBCO-структур с бездефектными областями в нужных местах подложки, и затем воспроизводимого формирования в этих областях критических элементов схемы субмикронного масштаба. Ключевые слова: нано- и микроструктуры, дефекты, рост в локальных областях, YBCO.
  1. https://www.ceraco.de/ybco-films/film-types/
  2. R.I. Chakalova, T.J. Jackson, G. Passerieux, I.P. Jones, P. Mikheenko, C.M. Muirhead, C.N.W. Darlington. Phys. Rev. B 70, 214504, (2004)
  3. J.-C. Nie, M. Koyanagi, A. Shoji. Appl. Surf. Science 172, 207, (2001)
  4. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. Письма в ЖТФ 42, 11, 82 (2016)
  5. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, Е.В. Скороходов. ФТТ 62, 9, 1398 (2020)
  6. Д.В. Мастеров, С.А. Павлов, А.Е. Парафин, П.А. Юнин. ЖТФ 90, 10, 1677 (2020)
  7. A.C. Westerheim, Alfredo C. Anderson, D.E. Oats, S.N. Basu, D. Bhatt, M.J. Cima. J. Appl. Phys. 75, 1, 393 (1994)
  8. S.J. Pennycook, M.F. Chisholm, D.E. Jesson, R. Feenstra, S. Zhu, X.Y. Zheng, D.J. Lownde. Physica C 202, 1 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.