Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий

DOI: 10.21883/FTT.2019.12.48608.47ks

Переводная версия: 10.1134/S1063783419120114

Егоров В.К.¹, Егоров Е.В.^1,2,3, Афанасьев М.С.²

¹Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Россия Institute of Microelectronics Technology and High-Purity Materials RAS, Chernogolovka, Russia

Institute of Microelectronics Technology and High-Purity Materials RAS, Chernogolovka, Russia

²Институт радиотехники и электроники РАН, Фрязино, Россия Institute of Radioengineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino, Moscow oblast, Russia

Institute of Radioengineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino, Moscow oblast, Russia

³Финансовый университет при правительстве РФ, Москва, Россия Financial University under the Government of the Russian Federation, Moscow, Russia

Financial University under the Government of the Russian Federation, Moscow, Russia

Email: egorov@iptm.ru

Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.

В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.

Принята к печати: 25 июля 2019 г.

Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Показано, как совместное использование методов резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенофлуоресцентного анализа в условиях полного внешнего отражении потока возбуждающего жесткого рентгеновского излучения и регистрации выхода рентгеновского излучения при ионном возбуждении позволяет эффективно диагностировать элементный состав тонкопленочных покрытий и пленок сухих остатков жидкостей. Представлена краткая характеристика этих методов и особенностей их экспериментального применения. Приведены примеры комплексного методического анализа реальных объектов. Указано на возможность повышения эффективности методов рентгенофлуоресцентного анализа материалов за счет включения в рентгенооптические схемы экспериментальных измерений плоских рентгеновских волноводов-резонаторов. Ключевые слова: резерфордовское обратное рассеяние, рентгенофлуоресцентная диагностика, рентгенофлуоресцентный анализ, тонкопленочные покрытия, пленки сухих остатков жидкостей.

J.R. Bird, J.S. Williams. Ion beams for material analysis. Academic Press, Sydney. (1989). 719 p
S.A.E. Johanson, J.L. Campbell, K.G. Molquist. Particle induced X-ray emission spectrometry (PIXE). Wiley, N. Y. (1995). 451 p
R. Klockenkamper, A. Von Bohlen. Total reflection X-ray fluorescence analysis and related methods. 2nd Ed. Wiley, N. Y. (2015). 528 p
Н.Ф. Лосев. Количественный рентгеноспектральный флуоресцентный анализ. Наука, М. (1969). 336 с
Quantitative electron-probe microanalysis / Eds V.D. Scott, G. Love. Wiley, N. Y. (1983). 321 p
E.P. Bertin. Principles and practice of X-ray spectrometric analysis. 2nd ed. Plenum press, N. Y. (1975). 1079 p
R. Jenkins, R.W. Gould, D. Gedcke. Quantitative X-ray spectrometry. Dekker, N. Y. (1995). 484 p
Y. Yoneda, T. Horiuchi. Rev. Sci. Instr. 42, 1069 (1971)
V.K. Egorov, E.V. Egorov. X-ray Spectrometry 33, 360 (2004)
В.К. Егоров, Е.В. Егоров, Е.М. Лукьянченко. Наноинженерия 5, 7 (2015)
V.K. Egorov, E.V. Egorov, E.M. Loukianchenko. Aspects Min\&Min. Sci. 2, 1 (2018)
H. Stosnach, A. Gross. S2 Picofox, Rapid and cost-effective monitoring of sludge and wasterwater by TXRF spectrometry. Lab. Report XRF 458. Bruker AXS Inc., Berlin (2015). 4 p
https://www.amptek.com/products/sdd-x-ray-detectors-for-xrf-eds/x-123sdd- complete-x-ray-spectrometer-with-silicon-drift-detector-sdd
M. Nastasi, J.W. Mayer, Y. Wang. Ion beam analysis, fundaments and application. CRC Press, Boca Raton. (2015). 434 p
L.R. Doolittle. NIM 9, 344 (1985)
E. Rauhala. NIM 12, 447 (1985)
X-ray spectrometry: Recent technological advanced / Eds K. Tsuji, R. Van Grieken. Wiley, Chichester. (2004). 517 p
T.A. Cahill. Ann. Rev. Nucl. Part. Sci. 30, 211 (1980)
Ion beam for material analysis: conventional and advanced approaches / Eds I. Ahmad, M. Maaza. Intechopen, London. (2018). P. 38
V.K. Egorov, E.V. Egorov, M.S. Afanas'ev. IOP Conf. Ser.: J. Phys.: Conf. Ser. 1121, 1 (2018)
H. Hofsas. Forward recoil spectroscopy. Plenum, N. Y. (1996). 278 p
Handbook on modern ion beam material analysis. 2nd ed. / Eds Y. Wang, M. Nastasi. Warrendale, Material research society (2009). 441 p
Ion implantation / Eds. by M. Goorsky. Intech, Rijeka. (2012). 436 p
P.L. Clay, E.B. Baxter, D.I. Cherniak. Geochim. Cosmochim. Acta 74, 20, 5906 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель