1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Московский физико-технический институт (Государственный университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
4Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
5Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden
